NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri Dipartimento di Elettrotecnica ed Elettronica, Laboratorio di Dispositivi Elettronici, Politecnico di Bari Via E. Orabona 4, 70125, Bari, Italy Phone: +39-80-5963314/5963427 Fax: +39-80-5963410 E-mail: [email protected] CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) - PRIMA PARTE - S ommario: l'avvento di Internet ha condotto ad una richiesta senza precedenti di larghezza di banda nelle reti di telecomunicazioni. Di qui è nata la necessità di sviluppare nuove tecnologie avanzate che consentano di processare dati ad alta velocità. E' ampiamente riconosciuto, peraltro, che solo i circuiti fotonici possono assolvere a questo ruolo.Uno dei limiti maggiori per conseguire questo obiettivo è il livello di integrazione attualmente raggiungibile con i circuiti fotonici che possono svolgere solo poche funzioni sullo stesso chip. La ragione principale è la dimensione dei componenti fotonici, che si estende tipicamente in alcuni mm. I cristalli fotonici (Photonic Crystals, PC o Photonic Band-Gap, PBG) possono essere impiegati per superare questo limite. In questo articolo di rassegna abbiamo descritto i principi di funzionamento dei cristalli fotonici con particolare riferimento alle applicazioni più recenti. bstract: the advent of Internet and of emergent applications what, for instance,TV to high definition, transmission and elaboration to distance of images, above all for applications in medical field, ultrafast connections between supercomputers, require an unprecedented bandwidth in the networks of telecommunications. A new very promising technology for these applications is the Photonic Crystals with forbidden bandgap (Photonic Band-Gap, PBG), which are periodic structures having an interval of wavelengths to inside of which the electromagnetic propagation is forbidden. In this review we have analyzed the photonic crystals using the approach of the leaky mode propagation (LMP) and we have described the principal applications of these structures on PBG. 1. Introduzione svolgere solo poche funzioni sullo stesso chip. La ragione principale è la dimensione dei componenti fotonici, che si estende tipicamente in alcuni mm. I cristalli fotonici (Photonic Crystals, PC o Photonic Band-Gap, PBG) possono essere impiegati per superare questo limite. I nuovi componenti ottici basati su guide d'onda a cristalli fotonici possono essere ordini di grandezza più piccoli di quelli convenzionali, consentendo un livello di integrazione paragonabile alla VLSI in elettronica. Recentemente, elementi dispersivi (prismi e accoppiatori a reticolo), multiplexer/demultiplexer con centinaia di canali, possono essere combinati L'avvento di INTERNET ha condotto ad una richiesta senza precedenti di larghezza di banda nelle reti di telecomunicazioni. Di qui è nata la necessità di sviluppare nuove tecnologie avanzate che consentano di processare dati ad alta velocità. E' ampiamente riconosciuto, peraltro, che solo i circuiti fotonici possono assolvere a questo ruolo. Uno dei limiti maggiori per conseguire questo obiettivo è il livello di integrazione attualmente raggiungibile con i circuiti fotonici che possono La Comunicazione - numero unico 2003 A 173 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri su un singolo chip, che misura non più di pochi millimetri. Con i cristalli fotonici, d'ora in poi, la miniaturizzazione sarà limitata piuttosto dalla dimensione delle fibre che portano il segnale da e al chip. Per questo la ricerca è in piena corsa nel settore. Attualmente, l'attenzione è focalizzata soprattutto sulle guide d'onda, che sono i blocchi di base dei circuiti integrati fotonici. Le prime misure sono state eseguite e sono altamente incoraggianti, ma indicano anche che molta strada c'è ancora da percorrere. Finora il miglior risultato ottenuto indica perdite dell'ordine di 50 cm-1, che sembrerebbe proibitivo a prima vista, ma in realtà è molto promettente se si considera che risulta: 50 cm -1 = 2dB/100 m e le distanze percorse sono dell'ordine delle centinaia di micron. I materiali studiati sono GaAs/AlGaAs, SOI (Si/SiO2 oppure Si3N4/SiO2), membrane di InP ed Si3N4 . I metodi di progetto vengono continuamente raffinati per cui ci si aspettano rapidamente importanti novità ed ulteriori miglioramenti. A titolo di confronto basti ricordare che le fibre ottiche, quando furono inventate e studiate agli inizi degli anni '70, presentavano una attenuazione di 20dB/Km. 2. Caratteristiche principali dei PBG L'idea che sta alla base dei cristalli fotonici prende origine dai lavori di Yablonovitch [1] sul controllo dell'emissione spontanea nei diodi LED e si traduce nella possibilità di realizzare materiali con caratteristiche tali da influire sulle proprietà dei fotoni analogamente a quanto i cristalli semi- 1-D WPBG conduttori influiscono sulle proprietà degli elettroni. Yablonovitch ha dimostrato che strutture in cui è presente una variazione periodica della costante dielettrica possono modificare drasticamente la natura dei modi fotonici al loro interno. In un cristallo semiconduttore il reticolo atomico fornisce un potenziale periodico per un elettrone che si propaga attraverso di esso. La simmetria del reticolo cristallino e la natura del potenziale elettrico sono tali che, dall'andamento periodico degli atomi del reticolo, si ha la formazione di un gap energetico per gli stati elettronici, ossia di una regione energetica preclusa al moto degli elettroni [2]. In un cristallo fotonico si riproducono per i fotoni le condizioni degli elettroni nei cristalli ordinari; l'analogo del potenziale atomico periodico è, in questo caso, generato da un reticolo di materiali dielettrici macroscopici. Se le costanti dielettriche dei materiali sono sufficientemente differenti, lo scattering alla Bragg dalle interfacce dei dielettrici può riprodurre per i fotoni molti dei fenomeni dovuti ai potenziali atomici di cui risentono gli elettroni, in particolare si possono realizzare PBG caratterizzati dalla presenza di un BandGap, ovvero si può impedire alla luce di propagarsi nella struttura secondo certe direzioni a frequenze specifiche, oppure in tutte le direzioni per un certo intervallo di frequenze proibite che costituisce un BG fotonico completo. Le strutture utilizzate sono di due tipi: Waveguiding (Fig. 1), se di spessore finito, Bulk (Fig. 2) se di spessore infinito. All'interno di queste categorie occorre, poi, distinguere fra cristalli monodimensionali (1-D), 2-D WPBG 3-D WPBG Fig. 1 - Strutture waveguiding monodimensionali, bidimensionali e tridimensionali. 174 La Comunicazione - numero unico 2003 NOTE CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) 1-D BPBG 2-D BPBG 3-D BPBG Fig.2 - Vista di cristalli fotonici bulk monodimensionali, bidimensionali e tridimensionali. bidimensionali (2-D) e tridimensionali (3-D) in base alla periodicità del cristallo. Un'onda incidente su una struttura non omogenea viene in parte riflessa, in parte trasmessa ed in parte diffratta. In generale viene divisa in un'onda che viaggia nella direzione positiva di propagazione ed una che viaggia nella direzione negativa. A sua volta l'onda trasmessa viene riflessa, ecc. Poiché si tratta di strutture periodiche, in particolari condizioni le onde che si generano possono interferire costruttivamente, e si ha propagazione netta di potenza, oppure distruttivamente. Quest'ultimo evento determina la formazione del bandgap. Un PBG presenta un bandgap completo ad una determinata frequenza se impedisce la propagazio- ne di un'onda caratterizzata dalla medesima frequenza, avente polarizzazione qualunque ed angolo di incidenza qualunque. Nella Figg. 3 e 4 viene mostrato come un'onda stazionaria, avente lunghezza d'onda nel vuoto pari al doppio del periodo del 1-D BPBG in cui si propaga, a causa della simmetria del cristallo possa assumere soltanto due configurazioni: con i ventri posizionati nel mezzo ad alto indice di rifrazione ed i nodi nel mezzo a basso indice, oppure viceversa [3]. Tra queste due configurazioni che, fissata la lunghezza d'onda λ e quindi il numero d'onda k, corrispondono a due valori distinti di ω=ck/n (dove c è la velocità della luce nel vuoto ed n l'indice di rifrazione) non vi sono altre intermedie possibili che non violino la simmetria del cristallo. Fig.3 - Illustrazione schematica dei modi in un PBG. (a) Campo elettrico nella banda superiore; (b) campo elettrico nella banda inferiore; (c) energia nella banda superiore; (d) energia nella banda inferiore. Nel disegno le regioni blu sono le regioni a più alto indice. La Comunicazione - numero unico 2003 175 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri Fig.4 - Struttura a bande di un PBG con costante reticolare a e piani con diverso spessore. Lo spessore dei piani ad alto indice è 0.2a quello dei piani a basso indice è 0.8a. Pertanto, si dice che tra le due ω permesse esiste un bandgap per i fotoni. Per analogia con l'intervallo di banda proibita che presentano i semiconduttori per gli elettroni, un modo per caratterizzare il BG fotonico, e, quindi, i PC, è quello di tracciare i diagrammi a bande fotoniche. La banda corrispondente ai valori di ω per i quali l'onda è maggiormente concentrata nel mezzo ad alto indice di rifrazione è denominata "banda dielettrica", mentre l'altra è denominata "banda d'aria". La ω nella banda dielettrica è minore della ω nella banda d'aria, da cui le onde aventi costante di propagazione nell'una o nell'altra banda prendono il nome di onde lente ed onde veloci, rispettiva- (a) mente. Per caratterizzare i PBG, oltre ai diagrammi a bande fotoniche, si utilizzano i diagrammi della riflettività e trasmittività al variare della frequenza (Fig.5). Si può notare come all'aumentare del numero di strati il BG (zone di oscuramento della trasmittività) diventa più netto e più stretto [4]. Inoltre, fissato il periodo della struttura, aumentando la frazione di materiale a basso indice di rifrazione aumenta il BG. In base al rapporto fra l'indice di rifrazione delle colonne e del mezzo circostante cambiano le caratteristiche di BG (Fig.6). Un PBG 2-D ideale deve presentare un BG 2D, cioè per un'onda incidente in qualunque dire- (b) Fig.5 - Diagrammi di riflettività e trasmittività (a) di un cristallo fotonico monodimensionale (b) 176 La Comunicazione - numero unico 2003 zione nel piano della periodicità (xy). I parametri di progetto sono: la costante reticolare, il "filling ratio" (rapporto di riempimento), il raggio delle colonne, la geometria della cella ele- NOTE CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) ce hanno minore dei modi concentrati nel mezzo a basso indice. Questo spiega la formazione del BG (separazione in ); Fig.6 - Cristallo fotonico bidimensionale. Questa struttura è costituita da un reticolo quadrato di colonne dielettriche, con raggio r e indice di rifrazione n. Il materiale è omogeneo in direzione z e periodico lungo x e y con costante reticolare a. L’inserto a sinistra mostra il reticolo quadrato, con la cella elementare evidenziata in rosso. Fig.7 - Struttura a bande per un array quadrato di colonne dielettriche con raggio r=0.2a. In blu è rappresentata il gap per i modi TM in rosso per i modi TE. L’inserto di sinistra mostra la zona di Brillouin, con la zona irriducibile in blu. L’inserto di mostra la sezione trasversale della funzione permettività dielettrica. mentare, il rapporto fra gli indici di rifrazione. Questa struttura presenta un BG completo per i modi TM, non per i TE (Fig.7), come si evince anche dal diagramma della trasmittività (Fig.8). La struttura di cilindri ad alto n a cella con simmetria quadrata presenta BG maggiore per i modi TM che per i TE in quanto: - fissata λ dell'onda, essendo funzione di n, i modi maggiormente concentrati nel mezzo ad alto indi- La Comunicazione - numero unico 2003 - per i modi TM il vettorre spostamento di Maxwell D è ortogonale al piano della periodicità (Fig.9) e può concentrarsi nelle regioni ad alto indice; per i TE è orientato nel piano e deve necessariamente penetrare nelle regioni a basso indice (sia nel caso della banda d'aria sia nel caso della banda dielettrica) per distribuirsi nella struttura, con una conseguente minore separazione tra le bande (minore BG) rispetto al caso TM; 177 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri Fig.8 - Coefficiente di trasmissione in funzione della frequenza per un PBG al variare del numero di piani di materiale dielettrico. Fig.9 - Vettore spostamento per i modi TM all’interno di un PBG costituito da colonne di dielettrico immerse in aria. Il colore indica l’ampiezza del campo. In ogni immagine la banda dielettrica è a sinistra e la banda d’aria è a destra. - il "filling factor" f dà una misura della energia elettromagnetica localizzata nelle regioni dielettriche ad alto indice rispetto all'energia distribuita in tutto il volume, per cui f è grande nella banda dielettrica e piccolo nella banda d'aria. Inoltre f è maggiore per i modi TM che per i TE [5]. La struttura di barre ad alto n a cella quadrata presenta BG maggiore per i modi TE che per i TM poiché: - la struttura offre un percorso continuo tra le regioni ad alto indice (nel piano della periodicità) il campo D, ortogonale al piano della periodicità nei 178 modi TM, è concentrato o negli incroci tra le barre ad alto n (banda dielettrica) oppure nelle barre ad alto n (banda d'aria). Ne consegue che la configurazione di campo è simile per entrambe le bande e, pertanto, la separazione tra queste è piccola (BG piccolo per i modi TM); il "filling factor" è paragonabile nelle due bande; - per i modi TE il campo D (nel piano della periodicità) può concentrarsi nelle regioni ad alto indice nella banda dielettrica mentre, presentando nodi nelle barre ad alto indice, deve necessaria- La Comunicazione - numero unico 2003 mente penetrare nelle regioni a basso indice per distribuirsi nella struttura nella banda d'aria, con un conseguente maggiore BG rispetto al caso TM; il "filling factor" f è grande nella banda dielettrica e piccolo nella banda d'aria. NOTE CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) Inoltre f è maggiore per i modi TE che per i TM [5]. La Fig.10 mostra la struttura a bande per un 2DPBG con reticolo a simmetria quadrata con griglia ad alto indice. Le Figg. 11 e 12 mostrano l'ampiezza dei vettori Fig.10 - Struttura a bande di un PBG con reticolo a simmetria quadrata. In blu è rappresentato il gap per i modi TM in rosso per i modi TE. Gli inserti di sinistra mostrano la zona di Brillouin e la zona irriducibile (in blu). Gli inserti di destra mostrano la sezione trasversale della funzione permettività dielettrica. Fig.11 - Campo D per i modi TM in un reticolo a simmetria quadrata. La figura a sinistra è relativa alla banda dielettrica quella a destra alla banda in aria. Fig.12 - Campo magnetico in un reticolo a simmetria quadrata. La figura a sinistra è relativa alla banda dielettrica quella a destra alla banda d’aria. La Comunicazione - numero unico 2003 179 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri campo D e campo H relativi ai modi TM e TE rispettivamente. La struttura, costituita da cilindri a basso indice in un mezzo ad alto indice, presenta fisicamente caratteristiche intermedie rispetto alle precedenti, per cui, se adeguatamente dimensionata, offre un BG completo sia per i modi TE che per i TM (Fig.13). Il numero di possibili geometrie è infinito, tuttavia solo alcune di esse presentano un BG completo. Ad ogni geometria sono associate caratteristiche di BG differenti, ovviamente. Una tipica struttura 3-D è l'opale (Fig.14) [6]. L'opale è una struttura naturale, che può essere sintetizzata anche in laboratorio partendo dai Fig.13 - Struttura a bande di un PBG con reticolo a simmetria triangolare. In blu è rappresentato il gap per i modi TM in rosso per i modi TE. L’inserto di sinistra mostrano la zona di Brillouin e la zona irriducibile (in blu). L’inserto di destra mostrano la sezione trasversale della funzione permettività dielettrica. In generale, in una struttura periodica: - regioni non connesse di materiale ad alto indice di rifrazione favoriscono la determinazione del BG per la polarizzazione TM; - regioni connesse di materiale ad alto indice di rifrazione favoriscono la formazione del BG per la polarizzazione TE; - se sono presenti entrambe le caratteristiche si produrrà un BG completo per entrambe le polarizzazioni: per esempio una cella esagonale di colonne d'aria. Per forti contrasti d'indice anche una cella quadrata di colonne d'aria presenta un BG completo. Un cristallo 3-D determina un BG completo, ovvero, da qualunque direzione l'onda provenga, se ha costante di propagazione nel BG, viene riflessa. suoi costituenti che sono sfere di SiO2, realizzata considerando sfere di materiale ad alto indice immerse in un mezzo a basso indice o viceversa (opale invertito). Le sfere possono essere disposte in modo da riprodurre una struttura cristallina generica. Una delle prime configurazioni realizzate riproduce un reticolo cubico a facce centrate, tipico di una struttura a diamante; in questo caso la zona di Brillouin è quasi sferica per cui vi è una elevata probabilità che le bande proibite, per ogni direzione di propagazione, si sovrappongano producendo un bandgap completo. Altre strutture sono in fase di studio e sperimentazione; tutte sono caratterizzabili mediante il vettore del reticolo e il rapporto tra le costanti Fig.14 - Esempi di cristalli fotonici tridimensionali del tipo opale invertito e opale. 180 La Comunicazione - numero unico 2003 NOTE CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) dielettriche delle regioni ad alto e a basso indice. In tutti i casi condizione fondamentale per ottenere un BG completo è che le regioni a basso e ad alto indice siano connesse. I PBG 3-D trovano applicazione soprattutto come substrato perfettamente riflettente nelle antenne integrate per onde millimetriche. 3. Modelli matematici per lo studio dei cristalli fotonici L'equazione fondamentale, ricavabile dalle equazioni di Maxwell, da studiare per la risoluzione del problema elettromagnetico è la seguente: ⎧ ⎫ 1 ∇x ⎬ H(r) = ω 2 H(r) ⎨∇x ⎩ å(r ) ⎭ E' una equazione lineare, hermitiana, agli autovalori, che assomiglia, nella forma, alla equazione di Schröedinger. Di qui l'idea che, se la funzione permettività rappresenta un cristallo costituito da "atomi" macroscopici disposti periodicamente, i fotoni che si propagano in questo cristallo devono essere descrivibili in termini di struttura a bande (fotoniche) e di funzioni di Bloch, analogamente a quanto accade nei semiconduttori per gli elettroni. Sostanzialmente sono due gli approcci numerici per risolvere l'equazione fondamentale dei PBG e si distinguono perché la risoluzione viene effettuata rispettivamente nel dominio del tempo e della frequenza. I) Metodi nel dominio della frequenza: Il campo viene espanso in una serie di armoniche e l'equazione agli autovalori può essere riscritta nella forma: È Hn = ë n Hn essendo λn l'n-simo autovalore e Θ l'operatore hermitiano, e viene risolta seguendo un approccio variazionale in cui ciascun autovalore viene calcolato separatamente minimizzando il funzionale: È Hn = ë n Hn Al fine di minimizzare il funzionale è necessario calcolare: ⎧ ⎫ 1 È Hn (r) = ⎨∇x ∇x ⎬ Hn (r) ⎩ å(r ) ⎭ La Comunicazione - numero unico 2003 Poiché il rotazionale è un operatore diagonale nello spazio reciproco e 1 å(r ) è un operatore diagonale nello spazio reale, ciascuno di questi operatori viene calcolato nello spazio dove è diagonale andando avanti e indietro tra gli spazi reale e reciproco tramite la FFT (Fast Fourier Trasform). Questo permette di diagonalizzare l'operatore Θ senza necessità di memorizzare tutti gli elementi della matrice NxN, bensì soltanto gli N elementi di Hn Questa tecnica permette, quindi, di considerare strutture anche grandi e complesse [6, 7]. II) Metodi nel dominio del tempo: L'equazione fondamentale dei PBG, e quindi le equazioni di Maxwell, vengono risolte nello spazio reale dove viene esplicitamente considerata la dipendenza dal tempo. Le equazioni di Maxwell: ∇xE(r, t)=- ∂H(r, t) ∂t ∇xH(r, t)=å(r) ∂E(r, t) ∂t - vengono discretizzate in una cella elementare mentre l'asse dei tempi viene discretizzato scegliendo arbitrariamente l'intervallo di discretizzazione. - Le derivate vengono approssimate in ciascun punto della cella dalla corrispondente differenza rispetto al punto centrale della cella, determinando, così, equazioni alle differenze finite. - Si ottiene, in tal modo, l'andamento del campo nel tempo, importante per studiare le microcavità ed in particolare parametri essenziali come lo scattering, l'efficienza di accoppiamento ed il fattore di qualità. Nel risolvere le equazioni di Maxwell occorre prestare attenzione al valore del campo al contorno della cella elementare considerata. Poiché non si dispone di informazioni circa il campo al di fuori della cella, le condizioni al contorno vanno continuamente aggiornate. Oltre all'andamento del campo nel tempo, la risoluzione delle equazioni di Maxwell basata su algoritmi nel dominio del tempo permette di calcolare anche la struttura a bande. Il campo nei nodi fuori dal dominio di calcolo selezionato viene 181 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri messo in relazione al campo ai nodi nel dominio tramite la condizione di Bloch [8]: E(r+a,t) = e jka E(r,t) dove r è il vettore di posizione di un prefissato nodo nel dominio (cella elementare) discretizzato, a è la costante reticolare (vettore), k è il vettore d'onda. Dopo l'oscillazione transitoria, come risposta del cristallo ad una eccitazione, il campo oscilla nello stato stazionario, come combinazione lineare di autostati aventi lo stesso vettore d'onda k. Le frequenze di questi autostati possono essere ottenute dalla trasformata di Fourier dell'ampiezza del campo in funzione del tempo, in un dato punto della cella. Lo spettro risultante presenta un numero discreto di picchi, dove ciascun picco corrisponde ad una autofrequenza. Per eccitare i modi nella cella in esame vengono usate sorgenti gaussiane (impulsi) in cui la frequenza di oscillazione e l'ampiezza dell'impulso vengono scelti in modo tale da coprire lo spettro di interesse. Piuttosto che eccitare tutti i modi possibili contemporaneamente utilizzando un solo impulso che comprenda tutte le frequenze di interesse, è preferibile usare, per ragioni di stabilità numerica, impulsi di durata maggiore (più stretti in frequenza) per eccitare uno per volta tutti gli autostati eccitabili ad una fissata frequenza. In sintesi possiamo operare la seguente classificazione: BPBG - Transfer Matrix Method (TMM) [9] - Plane Wave expansion Method (PWM) [10] - Bloch Wave Method (BWM) [11] - Finite Difference Time Domain method (FDTD) [12] WPBG - FDTD - Bi-directional mode Expansion and Propagation (BEP) [13] - Scattering Matrix Method (SMM) [14] - Leaky Mode Propagation method (LMP) [15] 4. Materiali e tecnologie Al contrario dei cristalli presenti in natura, le strutture dielettriche periodiche devono essere costruite artificialmente. La costante reticolare di un cristallo fotonico deve essere confrontabile con la lunghezza d'onda 182 della luce, e la crescita di strutture periodiche con passo di queste dimensioni comporta un rilevante sforzo tecnologico. Ad oggi, si sono realizzati cristalli fotonici con strutture ad opale, semiconduttori III-V e con silicio macroporoso. Quest'ultimo approccio è particolarmente interessante perché la realizzazione di cristalli fotonici interamente in silicio offre la possibilità di una integrazione optoelettronica VLSI a basso costo di dispositivi ottici integrati. Il silicio macroporoso, caratterizzato da diametri dei pori dell'ordine di alcuni micron, si ottiene mediante dissoluzione anodica parziale del silicio eseguita in un regime di equilibrio fra la diffusione ionica nell'elettrolita e l'approvvigionamento di carica dall'elettrodo di silicio verso il fondo dei pori in formazione. Per ottenere una struttura periodica regolare di macropori, e quindi un cristallo fotonico di silicio, è necessario definire con tecniche usuali di microlitografia un pattern di nuclei di invito sulla fetta di silicio su cui si vogliono realizzare i macropori [16]. Le lunghezze d'onda proibite sono orientativamente dell'ordine di grandezza della larghezza dell'etching nella regione perturbata. Per fabbricare dispositivi funzionanti a frequenze ottiche si è dovuto attendere lo sviluppo delle tecnologie microelettroniche, in modo particolare: I) della electron beam litography che permette la fabbricazione di cristalli funzionanti nel vicino infrarosso utilizzando tecniche interferometriche per produrre pattern delle stesse dimensioni delle lunghezze d'onda in gioco; II) delle tecniche di etching chimicamente assistito per produrre perturbazioni con peridocità 2D; III) dell'ossidazione selettiva verticale per produrre strati alternati, profondi, di materiale ad alto e basso indice con periodicità 3-D. La differenza tra una struttura 2-D ed una 3-D, dal punto di vista tecnologico, è che la 3-D deve essere perfettamente periodica in tutte le direzioni di propagazione della luce. Un cristallo 3-D viene fabbricato strato per strato ripetendo i processi di deposizione (sputtering o CVD) ed etching chimicamente assistito. Per fabbricare fibre a PBG viene effettuato un tiraggio di tubi, generalmente in silice, che presentano delle cavità frapposte, ed ancorati intorno ad La Comunicazione - numero unico 2003 NOTE CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI (PHOTONIC CRYSTALS: OPERATION PRINCIPLES AND APPLICATIONS) un core. La sequenza dei processi di fabbricazione è del tutto analoga a quella seguita per i dispositivi elettronici, come si può osservare nelle Figg. 15 e 16 [17]. Riassumendo, le tecnologie ed i relativi materiali maggiormente impiegati per PBG 1-D e 2-D sono: 1) SOI (soprattutto SiO2/Si3 N4) 2) GaAs/AlGaAs E' in fase di studio l'impiego di materiali non lineari e la definizione di PBG con effetto elettroottico, che si avvalgono di una tecnologia già matura quale la tecnologia Ti:LiNbO3. I processi tecnologici cruciali per la fabbricazione sono: a) litografia (e-beam; deep x-ray), per la risoluzione [18]; b) etching (RIE, CAIBE), per la direzionalità; c) epitassia (MBE, MOMBE) e tecniche di deposizione (CVD), per la qualità delle interfacce e degli strati accresciuti (i difetti rappresentano centri di scattering). Fig.15 - Fasi di realizzazione di un cristallo fotonico. I processi sono del tutto identici a quelli utilizzati in elettronica. Fig.16 - Sequenza di processi di fabbricazione di un cristallo fotonico. - fine prima parte La Comunicazione - numero unico 2003 183 NOTE 184 Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri La Comunicazione - numero unico 2003 NOTE Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri LA SECONDA PARTE DI “CRISTALLI FOTONICI: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO ED APPLICAZIONI di Agostino Giorgio, Decio Pasqua, Anna Gina Perri sarà pubblicato nel prossimo numero de LA COMUNICAZIONE Note,Recensioni & Notizie. Agostino Giorgio è nato a Carbonara-Bari, il 3.9.1969 e si è laureato con 110/110 e lode in Ingegneria Elettronica nell'aprile del 1994, presso il Politecnico di Bari. Ha conseguito l'abilitazione all'esercizio della libera professione di Ingegnere nella I sessione degli esami del 1994. Ha svolto il Dottorato di ricerca in Ingegneria Elettronica (X ciclo) negli anni 1994-1997 ed ha conseguito il titolo di Dottore di Ricerca presso il Politecnico di Torino, il 19/5/1998. Vincitore di Borse di Studio per attività di ricerca Post-Dottorato e come collaboratore per la Ricerca ("assegno di ricerca") nell'anno 1999, attualmente è Ricercatore Universitario per il Settore Scientifico Disciplinare ING-INF/01ELETTRONICA. Inoltre è Responsabile Tecnico del Laboratorio di Dispositivi Elettronici del Dipartimento di Elettrotecnica ed Elettronica del Politecnico di Bari. L'attività di ricerca dell'Ing. Giorgio, svolta principalmente nell'ambito del progetto e caratterizzazione di dispositivi elettronici ed optoelettronici, attualmente è indirizzata alle applicazioni in campo biomedico, in particolare allo studio, progetto e caratterizzazione di bio-sensori a semiconduttore, alla progettazione di sistemi elettronici per il monitoraggio remoto ed in prossimità della salute umana, con metodi non invasivi o mini-invasivi; al progetto di cavità su materiali a bandgap fotonico per adroterapia dei tumori.Altri interessi sono relativi ai metodi ottici per l'imaging medicale, in particolare alla tecnica della Tomografica Ottica a radiazione Coerente (OCT). L'ing. Giorgio è coautore di quattro libri riguardanti la teoria, le applicazioni ed il progetto con l'ausilio del calcolatore di dispositivi elettronici in Si ed in GaAs e di un ulteriore libro inerente la progettazione di circuiti integrati per la microelettronica. Inoltre ha pubblicato oltre 70 articoli scientifici su riviste internazionali o in atti di congressi internazionali. 185 La Comunicazione - numero unico 2003