Il microscopio elettronico a
scansione
Le mappe EDS
La tecnica EDS
Abbiamo visto:
• Come si rilevano i raggi X con la tecnica
EDS
• Come si formano gli spettri caratteristici
degli elementi
Abbiamo a disposizione un’altra tecnica che
ci da una visualizzazione della composizione
di un’area del campione: Le mappe
Gli spettri ci danno indicazioni sul numero dei fotoni
di un determinato elemento con una energia
caratteristica che arrivano al rivelatore per un certo
periodo di tempo
Le mappe ci dicono in quale parte del campione
si trovano gli elementi trovati con lo spettro
Esempio
Zona 2
Zona 1
1mm
Zona 1
Zona chiara
Zona scura
O
Ga
Al
Ti
W
Mappe lineari
Seconda zona
Spettro EDS
Ga
O
Ti
Al
W
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EDS