Strumentazione e caratterizzazione
dei materiali e dei dispositivi
Mauro Mosca
(www.dieet.unipa.it/tfl/people)
A.A. 2015-16
Università
Università di
di Palermo
Palermo –
– Facoltà
Facoltà di
di Ingegneria
Ingegneria (DEIM)
(DEIM)
• L-I-V measurements set-up
• Misura resistenza di contatto
• Diffrattometro a raggi X
L-I-V measurements set-up
semiconductor
parameter
analyzer
Resistenza di contatto
Resistività di contatto
Typical values:
Resistenza di contatto. Geometria laterale
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Diffrazione a raggi X (XRD)
(bremsstrahlung)
interazione tra fascio di elettroni e target metallico
Diffrazione a raggi X (XRD)
Diffrazione a raggi X (XRD)
Diffrazione a raggi X (XRD):
Legge di Bragg
Legge di Bragg
Diffrazione a raggi X (XRD): metodi
- Metodo di Laue (q costante, l variabile)
- Metodo delle polveri (l costante, q variabile)
anche per film
policristallini
Diffrazione a raggi X (XRD):
diffrattometro
(solidale con la fenditura)
Diffrazione a raggi X (XRD):
diffrattometro alla Bragg-Brentano
Diffrazione a raggi X (XRD): q-2q scan
Diffrazione a raggi X (XRD):
texture e mosaicità (w-scan)
Si fissa l’angolo 2q e si effettua una scansione in w
rocking curve
larga in
caso di forte
Si può così conoscere la ripartizione
dei piani
angolari
disorientazione dei piani cristallini
così osservati
(bassa texture)
grani ad orientazione parallela al
frazione volumetrica del cristallo
substrato
risultano disorientati
orientazione
che
presentapreferenziale
orientazione non-random
l’uno rispetto
all’altro
(o texture)
FWHM
La mosaicità NON è rivelabile con la rocking curve!
Diffrazione a raggi X (XRD): w-scan
q-2q-scan
w-scan
(rocking
curve)
Diffrazione a raggi X (XRD):
goniometro a 4 cerchi (f-scan)
Diffrazione a raggi X (XRD): f-scan
Figura dei poli
Diffrazione a raggi X (XRD):
legge di Scherrer: Deformazioni reticolari
legge di Scherrer
allargamento dovuto alla dimensione dei grani
cristalliti