Elementi di fisica dei laser Lezioni sulla fisica dei laser Corso di Fisica della Materia della Laurea Specialistica in Fisica Mario Capizzi Universita di Roma La Sapienza Email: [email protected] Tel. 06-4991-4381 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Testi consigliati Ben G. Streetman and SanJay Banerjee Solid State Electronic Devices (5th edition, editor: Prentice Hall, Upper Saddle River, New Jersey 07458) ISBN 0-13-025538-6 A. Frova and P. Perfetti Semiconduttori: Proprieta ed applicazioni elettroniche (editor: Libreria Eredi Virgilio Veschi, Roma) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Avviso Figure ed impostazione degli argomenti sono state prese dai testi citati. Le trasparenze del corso sono percio a solo uso interno e riservate agli studenti frequentanti il presente corso. Queste trasparenze devono essere intese come pro-memoria delle lezioni: non vogliono e non devono sostituire il libro di testo e/o gli appunti. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Sommario Principi generali di funzionamento Vantaggi e svantaggi dei laser a: stato solido gas Semiconduttore (omo e eterogiunzione) Ruolo della dimensionalita nei laser a semiconduttore EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Un po di cronologia LASER - Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation 1916-17 - Albert Einstein introduce il processo di emissione stimolata, base del funzionamento dei laser, necessario per raggiungere l equilibrio termodinamico radiazione/materia 1951 - Charles Townes e Arthur Schawlow progettano il maser (Microwave Amplification by Stimulated Emission of Radiation) 1954 C. Townes e A. Schawlow realizzano il maser (e lo brevettano il 24 Marzo 1959, Bell Labs), usando gas di ammoniaca e una tecnologia simile a quella del laser, ma piu semplice da realizzare sperimentalmente, per i motivi che spiegheremo 1958 C. Townes e A. Schawlow teorizzano il laser (a vapori di metalli alcalini, Bell Labs) 16 Maggio 1960 - Theodore Maiman (Hughes Aircraft) realizza il primo laser a rubino a tre livelli, impulsato, eccitato da una lampada spirale a flash di Xenon Gordon Gould, uno studente di dottorato di C. Townes alla Columbia U., per primo introduce il termine laser (e, forse, lo realizza a partire dal 1958), per poi brevettarlo solo nel 1977 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi LASER e loro applicazioni EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Un gigante: NOVA@LLNL - CO2 - 1014 W EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Un nano: il laser per telecomunicazioni 5 m VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting Laser AlAs/GaAs 10-3 W 10-3/5x5x15 3 2x106 W/cm3 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser per telecomunicazioni e data storage (InGa)(AsP) GaN Laser emettitore nel blu per l immagazzinamento di dati: ~27 Gb nel blue-ray DVD =1.3, 1.55 m Telecomunicazioni via fibra ottica Da =0.82 m to 0.40 m EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a CO2 per saldatura e scrittura su metalli The surface of a test target is instantly vaporized and bursts into flame upon irradiation by a high power continuous wave carbon dioxide laser emitting tens of kilowatts of far infrared light. Note the operator is standing behind sheets of plexiglass, which is opaque in the far infrared. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser e applicazioni ludiche Lasers used for visual effects during a musical performance EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Emissione radiativa Nel 1802, un chimico inglese, William Hyde Wollaston, noto per primo la presenza di un certo numero di righe scure nello spettro di emissione del sole. Nel 1814, in modo indipendente, Joseph von Fraunhofer riscopri queste linee arrivando a individuarne 570 fra forti, indicate con lettere da A a K, e deboli. Fraunhofer inoltre noto che le linee intense osservate nello spettro di emissione di certe sostanze corrispondevano in frequenza alle righe scure osservate nello spettro di assorbimento del sole. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Emissione radiativa EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Emissione radiativa Gustav Robert Kirchhoff contribui a formulare le leggi dei circuiti elettrici. Nel 1862 introdusse il termine radiazione di corpo nero . Kirchhoff riusci a produrre sostanze elementari di purezza piu elevata di quanto fatto in precedenza e a mostrare nel 1859 che ogni elemento ha un unico spettro caratteristico, donde derivo la legge che le frequenze di emissione e assorbimento sono le stesse per ciascun elemento. In tal modo Kirchhoff spiego per primo l origine delle righe nere negli spettri di emissione del sole. In particolare, arrivo a identificare nel 1861, assieme a Robert Wilhelm Bunsen*, gli elementi presenti nella atmosfera solare dando luogo a una nuova era nella astronomia. Inoltre scopri da spettri di fiamma il cesio (55Cs) nelle acque minerali di Durheim e il rubidio (37Rb). *R.W. Bunsen e piu noto per aver perfezionato uno speciale bruciatore, inventato da Michael Faraday, detto ancora oggi becco Bunsen , il cui merito principale e di impedire un ritorno di fiamma alla bombola. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Emissione radiativa L interazione radiazione-materia porta alla emissione di radiazione e.m. da parte di un atomo eccitato Spettro di emissione del ferro Spettro di emissione dell idrogeno EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I coefficienti di Einstein: emissione spontanea Quando un uomo siede un'ora in compagnia di una bella ragazza, sembra sia passato un minuto. Ma fatelo sedere su una stufa per un minuto e gli sembrerà più lungo di qualsiasi ora. Questa è la relatività. (Albert Einstein) Nel 1916, Albert Einstein propose che nella formazione di una linea atomica spettrale occorrano essenzialmente tre processi, di emissione spontanea, stimolata, e assorbimento, a ciascuno dei quali e associato un coefficiente (di Einstein) che e una misura della probabilita che quel processo abbia luogo. L emissione spontanea (gia nota ai tempi di Einstein) e il processo per cui un elettrone decade spontaneamente (ossia in assenza di perturbazioni esterne) da un livello di energia E2 a uno E1 (<E2), vuoto, emettendo con probabilita A21 un fotone di energia h 12 = E2 E1. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I coefficienti di Einstein: emissione spontanea La fase e il momento del fotone emesso sono completamente casuali. L ampiezza e l intensita del campo e.m. crescono linearmente con N, numero dei fotoni emessi. La probabilita di creare un fotone di energia h 12 cresce con 1 N p . 1 1 eh 12 kT , 1 ove Np e il numero di occupazione dei fotoni dato dalla funzione di Bose-Einstein Se n2 e la densita di atomi nello stato 2, il tasso di variazione per unita di tempo di questa densita dovuto alla emissione spontanea e pertanto dn2 dt A21n2 spont n2 n2 0 e A 21 t La vita media per emissione radiativa t n2 0 e 21 21 dell elettrone sul livello 2 e pari a 1/A21 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I coefficienti di Einstein: emissione stimolata L emissione stimolata (nota anche come emissione indotta, ignota ai tempi di Einstein) e il processo per cui un elettrone e indotto a transire, con probabilita B21, da un livello di energia E2 a uno di energia E1 (< E2) dalla presenza di un campo e.m. di energia h 12 pari (o vicina) alla differenza di energia fra i due livelli ( N p EDSS_Laser 2007/2008 0) Mario Capizzi I coefficienti di Einstein: emissione stimolata Il secondo fotone creato e totalmente coerente con il primo: ha lo stesso momento, fase, frequenza, e polarizzazione del fotone incidente. L ampiezza del campo e.m. cresce linearmente, l intensita cresce quadraticamente con N, numero dei fotoni emessi. Se n2 e la densita di atomi nello stato 2, il tasso di variazione per unita di tempo di questa densita dovuto alla emissione stimolata e pertanto dn2 dt B21n2 12 n2 n2 0 e B 21 t n2 0 e t * 21 con stim * 21 1 B21 L emissione stimolata e il processo quanto-meccanico di amplificazione ottica alla base del funzionamento di un laser o di un maser EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I coefficienti di Einstein: assorbimento L assorbimento (stimolato) e il processo per cui un elettrone e indotto a transire, con probabilita B12, da un livello di energia E1 a uno di energia E2 (> E1) dalla presenza di un campo e.m. di energia h 12 pari (o vicina) alla differenza di energia fra i due livelli Se n1 e la densita di atomi nello stato 1, il tasso di variazione per unita di tempo di questa densita dovuto all assorbimento e pertanto dn1 dt B12 n1 12 n1 n1 0 e tB 12 n1 0 e t * 12 con ass EDSS_Laser * 12 1 B12 2007/2008 Mario Capizzi Relazione emissione - assorbimento La emissione da una linea atomica puo essere descritta da un coefficiente di emissione (energia/tempo/volume/angolo solido). dt dV d e pertanto l energia emessa da un elemento di volume dV nel tempo dt in un angolo solido d . h n2 A21 4 Legge di Lambert dI x, h I x, h I x dx, h I 0, h e I x, h I x, h dx x Per la legge di Kirchhoff, il coefficiente di assorbimento fra due livelli atomici e correlato al coefficiente di emissione fra gli stessi due livelli h 4 n1 B12 n2 B21 cm -1 ove, tipicamente, n2 << n1 e a e positivo, per cui la intensita I(h ) si attenua N.B. I coefficienti di Einstein dipendono dai due livelli di energia in esame EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser Nell emissione stimolata, il secondo fotone ha la stessa fase, energia e vettore d onda del primo, con cui e coerente, per cui l intensita Iem del campo e.m. cresce con il quadrato N 2 del numero N di fotoni emessi, piu velocemente quindi dell emissione spontanea, incoerente, che cresce con N, ossia linearmente con il numero dei fotoni. Se si riuscissero ad avere condizioni per cui l emissione stimolata prevale sia sulla emissione spontanea che sull assorbimento, si potrebbero avere sorgenti luminose coerenti e molto piu intense di quelle convenzionali Direzionale: <10-3 rad Monocromatico: / ~ 10-12 Coerente: focalizzabile su 1 m Potente: 10-3-10 6 W Veloce: 10-15 s - dc Quali sono le condizioni necessarie (ma NON sufficienti) perche cio avvenga? EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser In condizioni opportune, l emissione stimolata puo portare alla amplificazione ottica. Una sorgente esterna di energia stimola transizioni degli atomi dallo stato fondamentale a uno stato eccitato, creando una inversione di popolazione. Quando un campo e.m. con fotoni di energia pari alla differenza di energia dei due livelli in questione interagisce con questi atomi a popolazione invertita, i fotoni stimolano gli atomi eccitati a emettere altri fotoni coerenti con loro dando luogo a una amplificazione della intensita del campo e.m. 2 Sia e B21 21 N 21 N2 2 g [cm2] la sezione d urto per l emissione stimolata 8 n g2 N1 [cm-3] l inversione di popolazione g1 Per intensita del campo e.m. I abbastanza piccola da non perturbare eccessivamente le condizioni di inversione di popolazione, si ha per un campo e.m. che si propaga lungo z dI z dz con N 21 I z 21 0 21 0 I z dI I z 0 dz I z I z 0 e 0 z N 21 [cm-1] guadagno della emissione stimolata, positivo se N21 > 0, in competizione con l assorbimento EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Bilancio dettagliato I coefficienti di Einstein sono probabilita fisse associate a ciascun atomo e non dipendono dallo stato del gas di cui gli atomi sono parte. Pertanto, ogni relazione ricavata fra i coefficienti, p.e. all equilibrio termodinamico, deve avere valore universale. All equilibrio, la popolazione dei vari livelli atomici deve essere costante nel tempo, e la sua variazione nulla. Ne segue che, per unita di tempo, all equilibrio fra due livelli atomici e il campo e.m. l incremento di popolazione del livello 2 dovuto a processi di assorbimento dal livello piu basso, 1, dovra essere bilanciato dal decremento dovuto ai processi di emissione, stimolata e spontanea, dal livello 2 stesso 0 dn2 dt tot dn1 dt ass dn2 dt em stim dn2 dt B12 n1 12 B21 n2 12 A21 n2 em spont Si noti che la introduzione del termine di emissione stimolata, sconosciuta ai tempi di Einstein, era necessaria per poter scrivere una relazione indipendente dalla intensita del campo e.m. 12 . . nella interazione radiazione-materia EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Bilancio dettagliato e relazioni varie n2 E2 (v12) em. spont. em. stim. ass. n1 E1 0 dn2 dt 12 n2 n1 g 2e g1e B12 n1 B21 n2 12 12 A21 n2 all equilibrio termodinamico tot h 1 2 3 c e h 12 E2 kT E1 kT g2 e g1 3 12 kT 1 E2 E1 kT formula di Planck (1900) di equilibrio radiazionemateria in un corpo nero (Wien + Rayleigh-Jeans) g2 e g1 h 12 kT dalla statistica di Boltzmann (1877) A temperatura ambiente kT ~ 25 meV nelle transizione nel campo delle microonde (h 12 ~ 0.01 0.1 meV) n2 n1, mentre per transizioni nel visibile (h 12 ~ 1 eV) n2 << n1 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Relazioni fra i coefficienti di Einstein All equilibrio temodinamico B12 n1 A21 n 2 12 B21 n 2 A21 12 n1 B12 n2 A21 B21 g1 h e g2 Ricordando la formula di Planck A21 12 h g1 h e g2 3 12 2 3 c 12 kT B12 1 eh 12 kT da cui 12 1 B21 h 12 12 kT B12 12 B21 h 1 2 3 c e h 12 A21 B21 g1 B12 h 12 kT e g 2 B21 3 12 kT 1 si ottiene l identita 1 g1 B12 g 2 B21 A21 B21 1 3 h 2 12 3 c EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Condizioni necessarie per un Laser g1 B12 g2 h L emissione stimolata e il processo opposto dell assorbimento B21 3 12 2 3 c B21 A21 L emissione spontanea domina su quella stimolata al crescere della energia del fotone emesso, meglio (ma non sempre, possono intervenire altri fattori contrari) lavorare a bassa energia L emissione stimolata deve essere maggiore dell assorbimento Ora, il rapporto fra emissione stimolata e assorbimento e dato da rem.st . / ass. B21 n2 B12 n1 12 12 B21 n2 B12 n1 n2 n1 g2 e g1 h 12 kT inversione di popolazione, per cui meglio lavorare ad alta T, a bassa energia Pertanto perche l emissione stimolata predomini sull assorbimento si devono ottenere condizioni di inversione di popolazione o di temperatura (efficace) negativa EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Condizioni necessarie per un Laser L emissione stimolata deve essere maggiore anche della emissione spontanea Il rapporto fra emissione spontanea e stimolata e dato da rem.sp. / em.st . A21 n2 B21 n 2 A21 B21 12 12 Pertanto il rapporto rem.sp. / em.st . diminuisce all aumentare del campo e.m. necessita di una cavita risonante Inoltre, rem.sp. / em.st . A21 B21 necessita di h 1 c 12 h 12 kT 3 12 2 3 1 2 h c3 3 eh 21 kT 1 eh 12 kT 1 12 , ossia di lavorare a alta T e/o a bassa energia questa volta per massimizzare emissione stimolata rispetto alla spontanea EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Condizioni necessarie per un Laser 1) Inversione di popolazione 2) Cavita risonante Alta T e bassa energia del campo e.m. favoriscono il raggiungimento di queste due condizioni, ma non sono necessarie. In qualche caso condizioni di bassa T agevolano il funzionamento di un laser La realizzazione del MASER (1954, C.H. Townes e A. Schawlow ) precede quella dei LASER (N. P. 1964, C. H. Townes, N.G. Basov e A. Prokhorov) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser Ci interesseremo ora dei diversi modi in cui si e riusciti a: - ottenere una inversione di popolazione; - realizzare una cavita risonante. In questo processo si metteranno in evidenza i vantaggi, e i limiti, dei diversi sistemi e strutture che hanno permesso di soddisfare le due condizioni suddettte, come pure i progressi della tecnologia che hanno reso possibile la realizzazione di queste strutture e di passare da laser impulsati in grado di funzionare solo a bassa temperatura, a laser in continua a bassa temperatura e, finalmente, a laser in continua a temperatura ambiente. Faremo pertanto un breve excursus, con accenni anche storici, ai laser a: - stato solido, a tre o quattro livelli di tipo atomico; - a gas (a liquidi); - a semiconduttore, con inversione in un continuo di livelli, a buca quantica. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi La cavita ottica e la soglia Un particolare modo del campo e.m. si rinforza se la sua lunghezza d onda L m 2 ove L e la lunghezza della cavita ottica e tale che L R2 R1 La soglia per avere amplificazione laser e g: guadagno dovuto alla emissione determinata dalla relazione fra le intensita a due stimolata passaggi successivi, n e n+1 : perdite dovute all assorbimento In 1 g net I n R1 R2 e ( 2 gL g g net th 2 L 2 c Amplificazione agevolata se: diminuiscono e c aumenta L cL) In 1 ln R1 R2 2L c: perdite dovute a imperfezioni della cavita , e.g., modi della emissione stimolata non allineati con la cavita , emissione spontanea, energia laser estratta EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a rubino Cavita ottica Cilindro di rubino a facce piane e parallele, lungo 5÷10 cm (L , Q , ), con coating di Al o Ag per aumentare la riflettivita R (0.98÷1) Ln 1 Q 4 1 R Questa condizione e simile a quella di un Fabry-Perot, ove la condizione per avere onde stazionarie e che la sua lunghezza L sia pari a un numero intero di semilunghezze d onda, entro il materiale, ossia L m , condizione facilmente soddisfatta in qualche 2n punto della cavita Si noti pero che, a differenza di quanto avviene per un Fabry-Perot, la superfice del rubino presenta delle perdite che, sommate a quelle nel volume dovute a assorbimento, diffusione, estrazione del segnale, etc, devono essere minori del guadagno, ossia dell incremento che il campo e.m. ha ad ogni passaggio lungo il cilindro. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a rubino Rubino: Al2O3:Cr3+ (~1018÷1019 cm-3) struttura esagonale compatta Zaffiro: Al2O3:Ti3+ (Fe3+, Mn3+) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a rubino Inversione di popolazione, sistema a tre livelli multipletto, ~10-8 s calore ~ 550 nm ~5 10-3 s 694,3 nm = Il Cr nell isolante Al2O3 da origine ad un centro di impurezza con transizioni di tipo atomico Se gli e- vengono pompati dallo stato E1 allo stato E3, e da qui a E2, ad una velocita maggiore di quella con cui decadono da E2 a E1, si puo avere una inversione di popolazione di E2 rispetto a E1 Il pompaggio ottico e dato da una lampada allo Xe, impulsata da una capacita , con durata dell impulso ~ ms ~ 0.2 kJ/treno di impulsi ~ 0.4 kW RMS ~ 4 MW cm-2 su Ø= 10-2 cm Durante l impulso di luce si raggiunge l inversione con emissione stimolata piu forte della spontanea e dell assorbimento lo stato metastabile si svuota rapidamente con * si passa sotto soglia sino a che non si ripopola E2 durata impulso 10-9÷10-6 s EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a rubino dn2 dt dn2 dt tot A21 n2 n2 e con em sp B21 n2 1 12 1 emsp con 1 dn2 dt em stim n2 1 emstim dn2 dt non rad non rad n2 non rad 1 1 rad non rad 1 1 1 rad em sp em stim Il tempo di vita, inizialmente breve in presenza della sola emissione spontanea, diminuisce velocemente non appena si instaura una apprezzabile emissione stimolata, ovvero raggiunta la condizione di inversione di popolazione. Questa diminuzione del tempo di vita accelera la crescita del campo e.m., e quindi la diminuzione del tempo di vita, in un processo catastrofico o a valanga EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a rubino: Q switching Impulsi singoli, piu intensi Per avere impulsi piu intensi, bisogna far si che l inversione di popolazione si accresca sopra soglia senza dare luogo a un impulso laser Q spoiling o Q switching Una estremita del rubino e parzialmente riflettente, per l uscita dell impulso, l altra e non riflettente (R << 1). La cavita risonante e ricostituita da uno specchio esterno ruotante ad alta frequenza 1 J su 10-7 s 107 W Si puo anche usare una cella di Kerr per luce polarizzata messa fra il rubino e uno specchio fisso, esterno. La cella agisce come un polarizzatore ruotante ad alta frequenza (MHz). In alternativa alla cella di Kerr si puo usare un dye, liquido normalmente opaco tranne quando investito da una intensa emissione di luce (spontanea, per alti livelli di inversione) che lo rende trasparente (self-induced transparency) 1 J per 10-12 s 1012 W EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Qualche curiosita Maiman was born in Los Angeles, California, in 1927. His father was an electronics engineer and inventor, who worked for several years at Bell Labs during the war. The elder Maiman was creative, prolific, and had a strong moral conviction that science should be used to better the world. Ted Maiman, inventor of the world's first laser, with his wife, Kathleen. Among the elder Maiman's inventions was the dc-to-dc converter for use in automobiles, which enabled cars to run radios. However, he was unable to attract the interest of the automobile industry -although several years later the device appeared in most automobiles. Maiman's father also spent a fair amount of time attempting to introduce electronics into medicine. He invented what is probably the first electronic stethoscope. He brought the stethoscope to a doctor, who heard a great deal more than he could through his conventional stethoscope. But he rejected it, saying he didn't know what to do with the extra information he was hearing. The elder Maiman never gave up his dream of introducing electronics to medicine. He strongly encouraged his son to get degrees in both electronics and medicine so his work would more readily be accepted by the medical community. He inspired his son with a love of electronics, and by the time the younger Maiman was 12 he had a job repairing valve devices. By the time he was 14, he was running the company's shop. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi e un poco di storia B.S. in Fisica ingegneristica alla U. del Colorado nel 1949, T. Maiman fu respinto due volte dal Dipartimento di Fisica dell U. di Stanford, ma riusci a entrare nel dipartimento di Ingegneria Elettronica, ove si laureo sotto la guida di Willis Lamb (Lamb s shift, 1947, H2s1/2 H2p1/2 = 1057,77 MHz, Nobel nel 1955 Quantum ElectroDynamics) Ottenuto il PhD a Stanford nel 1955, entro alla Hughes Aircraft ove nel 1959 ebbe un grant di 50.000$, comprensivo del salario suo e degli assistenti e della apparecchiatura. per realizzare il LASER preconizzato da C. Townes e A. Schawlow nel 1958. Il Pentagono aveva dato un grant di 1.000.000$ alla TRG, e Bell Labs, RCA, Lincoln Labs, IBM, Westinghouse, Siemens, GE e altri laboratori lavoravano al progetto. All epoca nessuno, salvo Maiman, riteneva il rubino un materiale di interesse per i laser. T. Maiman abbandono il rubino quando un suo ex studente alla Westinghouse misuro una efficienza quantistica del rubino dell 1%, salvo riprendere questo materiale in seria considerazione successivamente, quando - cercando di capire perche fosse cosi inefficiente scopri che il suo studente si era sbagliato grossolanamente (Maiman misuro una efficienza del 77%). EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi .e ancora storia Utilizzando una nuova lampada stroboscopica ellissoidale di cui aveva letto su una rivista fotografica, e un sbarra di rubino preparata ad hoc dalla Union Carbide in 5-6 mesi, ricoprendo le superfici lavorate otticamente del rubino con dell argento con una tecnica ereditata dai suoi lavori sul Maser con Townes, il 16 Maggio 1960, dopo nove mesi, realizzo il primo laser, a rubino, funzionante. La Hughes, entusiasta, organizzo una conferenza stampa il 7 Luglio ma volle che Maiman presentasse come laser non il prototipo, ma un altro, falso e non funzionante, di dimensioni maggiori, rimasto poi nella storia per le foto che ne furono fatte. Nel frattempo Samuel Goudsmit, fisico teorico scopritore dello spin e Editor di Physical Review Letters, rifiuto il lavoro sottomesso da T. Maiman alla rivista, forse ritenendolo un altro degli N lavori sottoposti sui MASER, ma vedi anche dopo. T. Maiman preparo allora un conciso riassunto di 300 parole che invio a Nature che lo pubblico il 6 Agosto del 1960. Theodore H. Maiman "Stimulated optical radiation in ruby" Nature 187, 493 (Aug. 6, 1960) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Rapporti con la Hughes e Phys. Rev. Letters Maiman´s success is undisputed, but almost immediately he ran into problems in reporting that success. Hughes´ management reacted enthusiastically once the laser worked and sponsored a full-fledged press announcement in early July . However, the public relations photographer commissioned to immortalize the first laser on film wasn´t satisfied with it. He thought the device too small and insisted that Maiman pose with a bigger flashlamp and ruby road. Today Hughes is still distributing those pictures, showing Maiman with what isn´t really the first ruby laser. A more serious problem came when Maiman submitted his paper for publication. The then-new Physical Review Letters summarily rejected it as " just another maser paper ". The journal´s founding editor, Samuel Goudsmit, a theoretician best known as the codiscoverer of electron spin, had grown tired of the glut of maser papers arriving at his office, and decided they no longer merited rapid publication. Maiman hurriedly prepared a concise 300-word report which was immediately accepted by the British weekly Nature, and when efforts to convince Goudsmit of his error failed, Nature carried the first report of the laser on August 6, 1960. Theodore H. Maiman "Stimulated optical radiation in ruby" Nature 187, 493 (Aug. 6, 1960) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il vero laser a rubino Th. H. Maiman "Stimulated optical emission in fluorescent solids, Part 1, Theoretical considerations" Phys. Rev. 125, 1145 (1961); Th. H. Maiman, R.H. Hoskins, I.J. D´Haenens, C.K. Asawa, and V. Evtuhov, Part II, Phys. Rev. 125, 1151 (1961). EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Una morale dalla storia .. Maiman attributes his success with the ruby laser to four things. First, he had a solid background in both electronics and optics, which was very unusual in those days. The laser project lasted only nine months, but all his prior experiences went into that effort -- everything he had learned experimenting with masers, working in Lamb's lab, and even the knowledge he gained fixing equipment when he was 12. Second, Maiman's philosophy is to keep things simple. He has always excelled at multiplechoice questions by eliminating the wrong answers, and that's how he approaches science. In the heat of the race to build the laser, Maiman was able to avoid blind alleys better than others. The third thing Maiman attributes to his success is his refusal to follow the pronouncements of the science establishment about how to make a laser. The "guru effect," as he calls it, sent all the researchers off in the wrong direction. A lot of time and effort were wasted following the recommendations of the gurus, which delayed them and worked to Maiman's advantage. Finally, he's a maverick spirit. He possessed a confidence that allowed him to persevere, despite being a junior employee, relatively new at his job, and having the world's leading scientists ridiculing his approach. When asked whether he considers himself a scientist or an engineer, Maiman said he's both. He believes many scientists can't easily be categorized as theoretical or experimental; they use both theoretical and experimental practices. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Qualche altro dettaglio . The first laser by Charles H. Townes from A Century of Nature: Twenty-One Discoveries that Changed Science and the World Laura Garwin and Tim Lincoln, editors When the first working laser was reported in 1960, it was described as "a solution looking for a problem." But before long the laser's distinctive qualities single wavelength its ability to generate an intense, very narrow beam of light of a were being harnessed for science, technology and medicine. Today, lasers are everywhere: from research laboratories at the cutting edge of quantum physics to medical clinics, supermarket checkouts and the telephone network. Theodore Maiman made the first laser operate on 16 May 1960 at the Hughes Research Laboratory in California, by shining a high-power flash lamp on a ruby rod with silver-coated surfaces. He promptly submitted a short report of the work to the journal Physical Review Letters, but the editors turned it down. Some have thought this was because the Physical Review had announced that it was receiving too many papers on masers of the laser the longer-wavelength predecessors and had announced that any further papers would be turned down. But Simon Pasternack, who was an editor of Physical Review Letters at the time, has said that he turned down this historic paper because Maiman had just published, in June 1960, an article on the excitation of ruby with light, with an examination of the relaxation times between quantum states, and that the new work seemed to be simply more of the same. Pasternack's reaction perhaps reflects the limited understanding at the time of the nature of lasers and their significance. Eager to get his work quickly into publication, Maiman then turned to Nature, usually even more selective than Physical Review Letters, where the paper was better received and published on 6 August. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a Nd-Yag Laser a quattro livelli 4 3< 3 2 3 2 2 1 < 3 2 Il sistema a tre livelli raggiunge l inversione quando lo stato fondamentale e svuotato almeno al 50%, ovvero per altissime intensita di pompaggio, con conseguente forte riscaldamento . si deve lavorare in impulsata. In un sistema a quattro livelli, come quello mostrato, l inversione si ottiene quando il livello 3 e piu popolato del livello 2, che NON e lo stato fondamentale e pertanto puo essere all inizio poco popolato. Perche cio sia possibile, il livello E2 deve decadere verso E1 piu velocemente di quanto E3 non decada verso il livello E2, che deve essere praticamente vuoto in condizioni di equilibrio (ossia E2- E1 >> kT). Materiali vari (vetri, plastiche, soluzioni liquide) drogati con terre rare i cui livelli energetici variano con il reticolo ospitante, danno sistemi a quattro livelli EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a Nd-Yag Y3Al5O12:Nd Y3Al5O12:Nd granato di ittrio e alluminio, drogato con Nd, funziona in continua, come il YVO4:Nd YVO4:Nd EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Altra cronologia 1954 - C.H. Townes e A. Schawlow realizzano il MASER 16 Maggio 1960 T. Maiman, laser a rubino Fine 1960 - Ali Javan, William Bennet, e Donald Herriot realizzano il primo laser in continua, a gas, a quattro livelli usando elio e neon eccitati da una scarica elettrica. 1964 - J.F. Geusic e R.G. Smith realizzano il primo laser a Nd:YAG 1964 C. Kumar N. Patel realizza il primo laser di potenza, a CO2 1964 Earl Bell realizza il laser a ioni (ioni Hg in elio). Poco utilizzato, fu il predecessore diretto del laser a ioni argon, sviluppato da William Bridges. 1964 P. N. per i maser a C. H. Townes, N.G. Basov, e A. Prokhorov . 1965 H. W. Mocker e R. J. Collins, laser a rubino a Q-switching 1966 A. J. DeMaria, D. A. Stetser, e H. Heynau, laser a vetro drogato con Nd a mode-locking, ~109 W di picco per ~10-12 s EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a CO2 1964 C. Kumar N. Patel realizza il primo laser di potenza, a CO2 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a He-Ne EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a gas Finestre a angolo di Brewster 2000 V, 28 MHz, 50 W La eccitazione ottica e poco efficiente in quanto la maggior parte della luce non ha l energia necessaria al pompaggio laser a impulsi, per facilitare il raffreddamento Il laser a gas usa la eccitazione elettrica di un plasma di ioni, piu efficiente Laser a He (~ 1 Torr) laser in continua Ne (~ 0.1 Torr) L He ha dei livelli 21S0 e 23S1 metastabili, con vita media lunga, per i quali si raggiunge facilmente una condizione di inversione, di energia vicina a quella di livelli 2s e 3s del Ne, che vengono eccitati per urto dagli atomi di He. I livelli del Ne sono quelli che danno l emissione laser. Efficienza < 1%, come Ar+, meglio CO2, kW d.c. HFWM limitata da effetto Doppler, ~ 80 kHz, ~ 8 104/2 1014 ~ 4 10-10 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser per telecomunicazioni L interesse iniziale per i laser per telecomunicazioni deriva dal fatto che un onda e.m. trasporta una quantita di informazione coerente proporzionale alla sua frequenza. La frequenza della luce e 105 maggiore delle microonde, 109 volte maggiore delle radioonde, e pertanto e sembrata una soluzione ideale al sovraffollamento della allora esistente tecnologia delle telecomunicazioni. 1962 - I Lincoln Labs riportano l uso di un diodo a GaAs per dimostrare la trasmissione ottica di un segnale televisisvo dal Mounte Wachusett al tetto dei Lincoln Labs, una distanza di circa 50 Km in linea d aria molto probabilmente la prima dimostrazione della trasmissione ottica di un segnale elettrico. Esistevano pero complicazioni tecniche all uso di laser nelle comunicazioni (curvatura terrestre, diffusione luce, assorbimento atmosfera .) e ci sono voluti molti anni prima della scoperta di altre tecnologie che hanno reso praticabile l uso del laser per le telecomunicazioni La prima di queste fu la scoperta nel 1970, dovuta a Charles Kao and George Hockham che le fibre ottiche potevano trasmettere in modo efficiente la luce laser. Nel 1969-70 si riusci anche a migliorare i laser a giunzione p-n, riducendo le densita di corrente di pompaggio da 105 A cm-2 a 8 e poi a 3 103 A cm-2. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Fibre ottiche Sono realizzate con fibre di vetro, ~ 5 25 m, flessibili, intrecciabili, come nei cavetti di Cu, lunghe anche Km (vtrasm >1G-bits/s, quanto trasmesso da occhio a cervello) Sono realizzate con due materiali SiO2 SiO2:Ge di indice di rifrazione differente, per confinare il campo e.m. SiO2 Se si ha un opportuno gradiente dell indice di rifrazione si ottiene una rifocalizzazione continua del campo e.m., evitando una dispersione spaziale (e temporale) del fascio e una diminuzione del n.o di bit trasmessi per secondo EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Fibre ottiche Vibrazioni SiO2 ~1.55 m ~1.15 m ~1.3 m OH¯ -4 N.B. Ove l assorbimento e minimo, e minima anche la dispersione cromatica n v minima a 1.3 m minima dispersione nei tempi di percorrenza minima dispersione dell impulso, ottimizzata da variazione graduale dell indice di rifrazione EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a semiconduttore: un po di storia 1951 Goryunova , Univ. di Leningrado, tesi di Ph.D., descrive i III-V come semiconduttori 1952 H.Welker alla Siemens (ri)scopre un nuovo semiconduttore, il GaAs 1953 J. Von Neumann: da i fondamenti teorici di un laser a semiconduttore 1954 Il GaAs viene drogato n e p 1957 Jun-ichi Nishizawa nel quaderno di laboratorio descrive un laser a semiconduttore 1958 P. Aigrain, all ICPS di Bruxelles suggerisce di usare a tal fine una giunzione p-n 1961 N.G. Basov et al. suggeriscono che si possa ottenere della emissione stimolata dalla ricombinazione dei portatori nella giunzione p-n di un semiconduttore 1962 3 Aprile, W.P. Dumke, IBM, suggerisce la struttura del laser a semiconduttore EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a semiconduttore: un po di storia 1962 9 Luglio, alla Solid State Device Research Conference, R.J. Keyes e T.M. Quist (MIT, Lincoln Lab) e J. Pankove (RCA) riportano efficienze interne quantiche pari a 0.85-1 in giunzioni p-n di GaAs osservate nello studio dei fenomeni di tunneling in diodi p+ n+ pesantemente drogati. I Lincoln Labs riportano anche l uso di un diodo a GaAs nella trasmissione ottica di un segnale televisivo dal Mounte Wachusett al tetto dei Lincoln Labs, una distanza di circa 50 Km in linea d aria molto probabilmente la prima dimostrazione della trasmissione ottica di un segnale elettrico 1962 In 30 giorni, l effetto laser in GaAs viene raggiunto limitatatamente a impulsi brevi, a bassa temperatura, a causa delle basse efficienze dovute alle alte correnti di soglia in giunzioni di n-GaAs drogate per diffusione di Zn: 16 Settembre da R.N. Hall et al. (GE), superfici lucidate, osserva figure di interferenza; 29 Settembre da R.I Nathan et al. (IBM), restringimento della elettroluminescenza a 3nm, poi a 0.2 nm, risoluzione limite del monocromatore, senza una cavita ottica; 12 Ottobre da R. Rediker et al. (MIT, Lincoln Lab), osserva la comparsa di filamenti nella emissione IR, la cavita Fabry-Perot realizzata mediante lucidatura delle superfici EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a semiconduttore: un po di storia 1962 10 Ottobre, N. Holonyak (GE) ottiene effetto laser in una lega di GaAsP. Si riteneva che il disordine dovuto alla distribuzione casuale degli atomi nella lega avrebbe impedito l effetto laser. Inoltre si cercava di realizzare leghe per diffusione - di P in GaAs. Inizialmente cerca di realizzare cavita per clivaggio del semiconduttore, poi, pressato dal successo di R.N. Hall eventi, ripiega sulla lucidatura I manager della GE spingevano N. Holonyak a dedicarsi maggiormente all attivita sul Si il lavoro sul GaAsP era in gran parte finanziato da un contratto esterno con l Air Force. In piu di una occasione fu detto a Holonyak che il suo progetto sul GaAsP sarebbe terminato assieme al suo finanziamento esterno, ovvero If your external funding ends and you don t want to work on our Si-related projects, you might as well get on down the road! . EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il laser a semiconduttore: un po di storia 1962 28 Novembre, la GE illustra i laser a semiconduttore al Dipartimento della Difesa 1962 R. Dill e D. Rutz, IBM, brevettano la formazione della cavita ottica per clivaggio 1962 La GE mette in commercio i laser a GaAs e GaAsP La messa a punto della tecnica di crescita del GaAsP per Vapor Phase Epitaxy fatta da N. Holonyak fu l inizio di tutti i futuri sviluppi delle leghe di semiconduttori e dei dispositivi III-V a eterogiunzione. La dimostrazione di una sorgente compatta di luce visibile fu la genesi dei LED, dispositivi che creano fotoni visibili a occhio nudo basati sulla iniezione di portatori minoritari e la ricombinazione radiativa di portatori in eccesso VCSEL 1969 L introduzione delle eterostrutture, con un miglior confinamento dei portatori e del campo e.m., permette l emissione in continua, a temperatura ambiente. EDSS_Laser 5 m 2007/2008 Mario Capizzi Trasporto nei semiconduttori Definiamo la densita di corrente j e livelli occupati dk vk 4 3 0 Per una banda piena j e dk vk 3 4 banda 0 piena in quanto la velocita di gruppo di un elettrone e una funzione dispari di k essendo proporzionale, come per l elettrone libero, alla derivata della energia rispetto a k Se solo una parte della banda e occupata da elettroni, si ha che 0 e tutta la banda dk vk 4 3 e livelli occupati dk vk 4 3 e dk vk 3 4 livelli vuoti EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Trasporto nei semiconduttori 0 e tutta la banda dk vk 4 3 e livelli occupati dk vk 4 3 e dk vk 3 4 livelli vuoti ovvero e dk vk 3 4 livelli vuoti e livelli occupati dk vk 4 3 j EF ossia la corrente dovuta alle cariche negative, e-, che occupano i livelli pieni e pari a quella valutabile per cariche positive che occupino i soli livelli vuoti: queste cariche positive fittizie prendono il nome di buche o lacune, h+ Per quanto concerne le proprieta di trasporto di corrente, una banda puo pertanto essere essere descritta in termini o di elettroni, e-, sugli stati pieni o di lacune, h+, sugli stati vuoti Come si muovono le lacune sotto l effetto di campi esterni? EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Perche le lacune? Massa efficace Quando e vantaggiosa una descrizione in termini di lacune? Consideriamo il comportamento di un elettrone con valori di k prossimi a quello, k0, ove E(k) ha un massimo Ek m* 1 2 E k0 2 1 2 Ek k2 2 Ek k2 2 k k0 2 E k0 k k0 2m * k k0 2 con 1 0 in quanto E(k) ha un massimo a k=k0. Il parametro m* cosi definito risulta avere le dimensioni di una massa, e viene detto massa efficace. Inoltre, dalle relazioni gia introdotte segue che, per valori di k prossimi a k0 r t ak vk v t 1 Ek v k k t m* m* k k t k0 Fe m* Fe m* ovvero l accelerazione ha verso opposto alla forza esterna, essendo m* < 0 a k0 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Utilita del concetto di lacuna v eE t m* per traiettorie dell elettrone confinate, nello spazio delle fasi, a valori di k vicini a k0 ove sia corretta una espansione in serie di Taylor al 10 ordine per l energia, l elettrone risponde ad un campo esterno come se avesse una massa negativa: l effetto del potenziale periodico e incluso nella definizione della massa efficace per il tramite della E(k), che e determinata dal potenziale periodico via la soluzione della equazione di Schroedinger relativa ak Puo essere piu naturale descrivere i livelli vuoti vicino al massimo come occupati da lacune, di carica positiva e massa efficace positiva ak v t eE m* eE m* Il trasporto dovuto ad M elettroni su stati pieni puo essere descritto in termini di lacune sugli stati vuoti, con carica e massa positiva, che sono descritte da stati la cui variazione nello spazio delle fasi sotto l effetto di campi esterni e descritto dalle equazioni semiclassiche del moto N.B. Masse costanti per e- (h+) se bande quasi completamente vuote (piene)!! EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Elettroni e lacune N.B. Nella banda di valenza le buche aumentano di energia in maniera opposta agli elettroni perché hanno carica opposta energia buche aumenta verso il basso energia elettroni aumenta verso l alto EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori intrinseci SB 3 Semiconduttore intrinseco: cristallo semiconduttore perfetto, senza impurezze o altri difetti F=E-TS ad alta temperatura T e possibile diminuire l energia libera F del sistema spendendo della energia E per creare dei difetti vacanze, interstiziali o antisiti e.g., e guadagnare in entropia configurazionale del sistema S. Il raffreddamento successivo alla crescita congela la concentrazione di questi difetti a un valore vicino a quello caratteristico della temperatura di crescita. A T = 0, la banda di valenza è piena, quella di conduzione vuota isolante A T > 0, agitazione termica puo portare alla rottura di un legame fra atomi vicini stato eccitato, generazione termica di coppie elettrone-lacuna (HEP) con energia caratteristica Eg, elettroni in BC, lacune in BV n0 = p0 = ni e n0 p0 = ni 2 all equilibrio termodinamico EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori intrinseci Si dimostra che n0 T c 2 Eg Eg T p0 T 2 kT 2 ni T 3 2 * n m m ce * p 3 E g 2 kT 4 Eg T 2 10 4 eV / K EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione dell energia di Fermi W Siano n0 e p0 le concentrazioni all equilibrio dei portatori in BC (e-) e BV (h+) Si assuma che la presenza di impurezze cariche introduca dei livelli nella gap senza alterare apprezzabilmente la forma della densita degli stati gC(E) e gV(E) per e- ed h+ (ovvero Ni << nMIT) ma influenzando, come vedremo, l energia di Fermi 1) n0 T gC E Ec 1 e E kT EV 2) p0 T gV E 1 1 dE EV 1 e E kT 1 dE gV E 1 e E kT 1 dE Integrali determinabili solo numericamente avendo scelto di descrivere la BV in termini di lacune, la BC di elettroni. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione dell energia di Fermi Supponiamo di essere in condizioni di NON degenerazione, ossia che il livello di Fermi disti dagli estremi della BV e BC per diversi kT EC kT e EV kT Cio permette di approssimare la funzione di FD con quella di Boltzmann, almeno per gli stati che ci interessano (pieni in BC e vuoti in BV) e di valutare esattamente gli integrali precedenti, salvo verificare che la condizione di NON degenerazione sia effettivamente verificata per la soluzione trovata nelle condizioni di T ed Eg (o drogaggio) in esame Sara pertanto 1 e E kT 1 1 e E kT 1 e e E kT per E EC E kT per E EV EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione dell energia di Fermi W per cui 1) n0 T EC NC T e kT NC T fB (E EC ) Equazioni sempre valide, per semiconduttori intrinseci o 2) p0 T EV kT gC E e E EC kT gV E e EV E kT NV T e NV T f B ( E EV ) estrinseci purche NON degeneri con NC T dE EC EV NV T n0 T p 0 T NC T e N C T NV T e EC EV EC kT densita pesate degli stati in BC e BV. Si ha poi dE kT NV T e EV N C T NV T e kT E g kT EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso intrinseco W La condizione di neutralita di carica, per un semiconduttore intrinseco, si riduce alla 3) n0 T p0 T ni T ni T per cui n0 T p0 T N C T NV T e E g kT N C T NV T e E g 2 kT Tenendo conto delle relazioni generali g E gn E n gn E Sn E 1 dS 3 k En k 4 ove l integrale e effettuato sulla superfice di energia costante E si arriva alle NC T NV T me* kT 2 2 2 mh* kT 2 2 2 3 3 2 dalle quali risulta come il termine dominante la dipendenza 2 dalla T di n0 e p0 sia l esponenziale nella 3) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso intrinseco W Uguagliando la 1) alla soluzione della 3), dovuta alla neutralita di carica n0 T NC T e e risolvendo per i T EC 1 Eg 2 EC kT NV N T e E G 2 kT ni T si ottiene la dipendenza di (EF) da T nel caso intrinseco 1 kT ln NV N C 2 EC 1 Eg 2 3 kT ln mh* me* 4 N.B. L energia di Fermi si trova esattamente a meta gap 1) a T, nel caso mh* me* 2) ovvero solo a T = 0 per m h* m e* N.B. Perche la condizione di NON degenerazione sia soddisfatta in un semiconduttore intrinseco deve essere Eg >> kT - che non vale, p.e., a RT nel caso dell InSb, ove Eg= 0.17 eV e ln(mh/me) = 3.4. In questi casi, si risolve numericamente il sistema dato dalle equazioni generali 1), 2) e dalla 3) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori estrinseci di tipo n SB 3 Si definiscono semiconduttori (estrinseci) quei materiali, isolanti a T=0, per i quali la densita di elettroni o di lacune e controllata mediante la introduzione di opportune impurezze (drogaggio), per cui si hanno semiconduttori di tipo n, se nn0 > ni, pn0 pur continuando a valere la relazione n(T) p(T) = ni2(T) all equilibrio termodinamico IV V Config C N 2s22p3 1.16 Si P 3s23p3 0.75 Ge As 4s24p3 0.08 Sn Sb 5s25p3 2, 2 2, 3 Shell esterna Eg(T=0) 5.51 eV nn0 >> (ni, pn0) a T >> Ed ~ 100 K Un atomo del V gruppo (P, As, Sb) e per i semiconduttori del IV gruppo (Si, Ge) un donatore con un livello d energia nella gap a distanza Ed alla banda di conduzione e- portatori maggioritari, h+ minoritari EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori estrinseci di tipo p SB 3 Si definiscono semiconduttori (estrinseci) quei materiali, isolanti a T=0, per i quali la densita di elettroni o di lacune e controllata mediante la introduzione di opportune impurezze (drogaggio), per cui si hanno semiconduttori di tipo p, se pp0 > pi, np0 pur continuando a valere la relazione n(T) p(T) = ni2(T) all equilibrio termodinamico III Config IV B 2s22p1 C Al 3s23p1 Si Ga 4s24p1 Ge In 5s25p1 Sn Shell esterna 2, 1 2, 2 pp0 >> (ni, pn0) a T >> Ea ~ 100 K Un atomo del III gruppo (B, Al, Ga, In) e per i semiconduttori del IV gruppo (Si, Ge) un accettore con un livello d energia nella gap vicino alla banda di valenza h+ portatori maggioritari, e- minoritari EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori estrinseci un modello semplice SB 3 Donatori 4 e- di valenza dell As prendono il ruolo dei 4 e- di valenza del Si sostituito. Il quinto e- di valenza e legato debolmente da un potenziale Coulombiano schermato al protone rimasto (As Si + e- + p+). L energia termica a T ambiente e sufficiente a rompere questo legame e- in banda di conduzione Modello idrogenoide di Bohr Accettori 3 e- di valenza del B prendono il ruolo di 3 e- di valenza del Si sostituito. Resta un legame insoddisfatto (B Si - e- Si + h+), ossia una h+ legata debolmente all e disaccoppiato da un potenziale Coulombiano schermato. L energia termica a T ambiente e sufficiente a portare questa lacuna in banda di valenza (e un esul livello accettore), ovvero a far muovere il legame spaiato da un atomo all altro. En m * E1 Eb 2 m* Ry m0 0.1, Eb 0 r r 1 , an n2 n2 m0 m* r aB 0 10 13.6 meV, a1 a0 5 nm per i donori 6 meV (Ge, r 16) 14 meV (Si, r 11.8) 5 meV (GaAs, r 10.9) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Semiconduttori estrinseci Nel GaAs Ed 5 meV Ea kT SB 3 Si 25 meV a RT 30 meV EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Portatori in un semiconduttore estrinseco vs TW Andamento tipico di n(T) in un semiconduttore drogato Si:P 1x1015 cm-3 RT Ad alta temperatura comportamento di tipo intrinseco Come spiegare il comportamento a T intermedie e basse? EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso estrinseco W Si ricorre ancora alle 1) e 2) , salvo verificare alla fine che la condizione di NON degenerazione sia soddisfatta 1) n0 T NC T e 2) p0 T NV T e EC EV kT NC T f B (E EC ) kT NV T f B ( E EV ) e alla condizione di neutralita , generalizzata al caso estrinseco 3) n0 T Na T p0 T Nd T Abbiamo pero introdotto due nuove incognite, le probabilita di occupazione per i difetti accettori e donori, di cui bisogna determinare l espressione per poter avere un sistema risolubile di 5 equazioni in 5 incognite EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso estrinseco W Assumendo che la densita di impurezze sia sufficentemente bassa da poter trascurare le interazioni fra portatori (Ni<<NIMT), la densita di portatori legati alle impurezze ni e pari al prodotto fra la densita di impurezze Ni per l occupazione media di portatori valutata nel caso di singola impurezza Assumendo che l impurezza introduca un solo livello di portatore singolo nella gap, di degenerazione g (=2, dovuta allo spin, per gli elettroni e le lacune) Definendo poi la funzione di partizione relativa al caso in oggetto, si ottiene 4) N d Nd nd 5) N a Na pa Nd 1 g e Ed Na 1 g e Ea kT kT Ossia le due nuove relazioni necessarie per risolvere il problema della concentrazione dei portatori in funzione della T nel caso estrinseco. Ea ed Ed sono le energie assolute dei livelli accettori e donori, rispettivamente EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso estrinseco W Sostituendo le 1) , 2) , 4), e 5) nella 3) si ottiene NC e EC Na 1 2 e Ea kT kT NV e EV kT Nd 1 2 e Ed kT con sola incognita. La soluzione esatta, ottenibile numericamente, e complessa. In casi particolari si possono ottenere soluzioni approssimate facilmente intellegibili. kT >> Ea- Ev, Ec- Ed (donori e accettori completamente ionizzati) Nd Se ni n0 Na 2 p0 i , allora ni e, ovviamente, si ricade nel caso intriseco gia noto EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Determinazione di EF caso estrinseco Si puo anche arrivare a dimostrare che per un materiale di tipo n e EC Ed 2 kT 2 N C ln 2 Nd kT arc senh NC 8N d 1 2 e EC E d W T kT EC Ed EF ~ EFi EFi EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Invarianza del livello di Fermi SB All equilibrio termodinamico (T1 = T2 =cost) si ha un passaggio netto nullo di portatori (e di energia) fra i due materiali, per cui j1 j1 N1 E f1 E f1 E 1 f 2 E f1 1 x f2 N2 E 1 f2 E f 2 E 1 f1 E j2 N2 E f2 E 2 = j2 1 E N1 E 1 f1 E E E E 2 0 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Quasi-livelli di Fermi Il livello di Fermi i SB e definito solo all equilibrio termodinamico ed e unico. Fuori dell equilibrio possiamo scrivere le relazioni per le concentrazioni dei portatori in condizioni stazionarie nella stessa forma di quelle valide all equilibrio, definizione operativa dei quasi-livelli di Fermi n e p per elettroni e lacune nT ni e pT ni e jn jp q q i i p nE Dn pE Dp n p n kT kT r r n p Espressione generale della corrente di portatori in termini della corrente di deriva e della corrente di diffusione EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Corrente di diffusione In presenza di un gradiente nella concentrazione n dei portatori si ha un flusso di portatori dalla regione ove la densita e maggiore a quella dove la densita e minore. Questo flusso tende a eliminare il gradiente e a dar luogo a una distribuzione uniforme. Questo fenomeno, associato al moto caotico delle particelle, e osservabile quando si aggiunge una goccia di vino nell acqua, goccia visibile all inizio come macchia colorata che tende a svanire nel tempo, senza bisogno di mescolare. Nel caso di particelle cariche, elettroni o lacune, a questo flusso di particelle si puo associare una corrente, la corrente di diffusione jdiffusione q n D x qD r n ove D prende il nome di coefficiente di diffusione, in un modello semplice di random walk dato dal prodotto del cammino libero medio della particella per la sua velocita termica EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Giunzioni: potenziale di contatto W = regione di transizione, di svuotamento, di carica spaziale V0 = potenziale di contatto SB 5 Quando si mettono a contatto due semiconduttori differentemente drogati, uno p, l altro n, nel transiente si ha diffusione di elettroni dal lato n al lato p, e viceversa per le lacune. Gli elettroni si localizzano sugli accettori del lato n, lasciando donatori ionizzati positivamente sul lato n (e viceversa per lacune e accettori). Cio genera un campo elettrico E in una regione W, di svuotamento, priva di cariche mobili. Tale campo, crescente, si oppone ad ulteriore diffusione di cariche fino a bilanciarla. In tal modo si equilibrano i livelli di Fermi sui due lati della giunzione, ai cui capi si ha una differenza di potenziale, di contatto, V0 pari alla differenza fra i livelli di Fermi prima che i due materiali venissero messi a contatto. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Giunzione all equilibrio Superata la fase di transiente, dopo che si e instaurato il potenziale di contatto e i due livelli di Fermi sono diventati uguali, non c e piu un passaggio netto di corrente fra i due materiali o all interno degli stessi. Tale equilibrio e pero dinamico: gli elettroni generati (termicamente) sul lato p entro qualche lunghezza di diffusione dalla regione di svuotamento W, se arrivano a tale regione sono spazzati via dal campo elettrico dovuto al potenziale di contatto e arrivano sul lato n, ove sono maggioritari, dando luogo a una corrente di deriva (di maggioritari). Tale corrente di deriva e uguale in intensita ed opposta in verso a quella di diffusione degli elettroni che, maggioritari sul lato n, hanno energia superiore a V0 e pertanto possono essere iniettati nel materiale p in concentrazione molto maggiore di quella caratterstica degli elettroni su tale lato p e dare luogo a una corrente di diffusione (di minoritari). Bilancio analogo, scambiati i ruoli, si ha per le lacune. All equilibrio j = jn + jp = 0 le correnti di deriva e di diffusione sono uguali ed opposte, sia per e- che per h+ jndrift jndiff j pdrift j pdiff 0 jndrift jndiff j pdrift j pdiff 0 per E EDSS_Laser 2007/2008 0 Mario Capizzi Giunzione in un campo esterno V V=J=0 Pol diretta, Vf Pol inversa, Vr SB 5 Applichiamo ora una polarizzazione esterna, V, definita positiva per tensione positiva sul lato p V0 V0 - V Poiche la resistenza della regione di svuotamento e molto maggiore di quella delle regioni neutre (le parti dei due materiali non interessate allo svuotamento), il campo cade tutto sulla regione di svuotamento cambiando la altezza della barriera che determina una variazione esponenziale in V nella iniezione di portatori maggioritari e pertanto nella corrente di diffusione degli stessi. j pdiff jndiff j pderiva cos t jnderiva cos t jndrift jndiff Le correnti di deriva dei minoritari sono legate invece alla generazione termica degli stessi e alla loro possibilita di raggiungere la regione di svuotamento, quantita indipendenti da V j pdrift j pdiff 0 per E EDSS_Laser 2007/2008 0 Mario Capizzi Giunzione in un campo esterno V SB 5 La corrente di deriva e dovuta ai minoritari generati termicamente entro una lunghezza di diffusione LD dalla giunzione => corrente di generazione In presenza di una generazione ottica, la corrente di generazione aumenta, in modo proporzionale alla intensita di eccitazione => fotocorrente, fotodiodo j jnder jndiff j pder j pdiff 0 per V j jnder jndiff j pder j pdiff jnder j pder j gen per V j jnder jndiff j pder j pdiff jndiff j pdiff jdiff per V 0 0 0 I(V) non lineare I (V - ) = corrente di generazione inversa di saturazione nei fotodiodi EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I primi laser a semiconduttore Figure 1: Schematic diagram of initial concepts for an injection laser developed at General Electric Research Laboratories by Robert Hall in 1962. Figure 2: Spectral linewidth vs. current for a GaAs diode made at IBM and operated at 77K. The diode did not have a Fabry-Perot geometry so cavity modes were not observed. As Robert Hall has written: It seems strange now, but at that time, one of our big uncertainties was to know what to look for as evidence that the diode was lasing . EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi I primi laser a semiconduttore Photograph of an early GaAs diode laser fabricated by R. Rediker et al. at Lincoln Laboratory, MIT (1962). One of Holonyak s first GaAsP injection lasers (GE, 1962). First direct photograph of a laser diode made using its own photon emission as a light source. Un diodo laser a GaAs di Hall costava inizialmente 1,600$ (successivamente 800$) un prezzo politico arbitrario imposto dalla GE, pari a 10 volte quello di un diodo incoerente IR della Texas Instr. Un diodo laser nel visibile a GaAsP di Holonyak costava inizialmente 3,200$ (poi ridotti a 1,600$) in quanto ritenuto doppiamente valido del diodo IR. Attualmente un laser per DVD a buca quantica di InAlGaP, ad alta efficienza, costa 1$. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Qualche applicazione =0.82 m = 0.98, 1.3 e 1.55 m EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Pompaggio ottico e inversione di popolazione Consideriamo ora una giunzione fra due semiconduttori degeneri, con livello di Fermi in BC (n+) o BV (p+) p+ n+ Giunzione fra due semiconduttori degeneri: V=0 Giunzione fra due semiconduttori degeneri: V>0 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED Nel caso di una giunzione p++-n++ sotto forte polarizzazione diretta c e una forte iniezione di portatori nella regione di transizione o p+ n+ svuotamento I portatori iniettati diffondono nella regione neutra. Il loro profilo e sintetizzato dall andamento dei quasi livelli di Fermi per elettroni e lacune Ei n p Ei n NC e E C Fn kT ni e Fn E i kT p NV e F p EV ni e Ei Fp kT kT La concentrazione dei minoritari raggiunge il suo valore di equilibrio solo a molte lunghezze di diffusione LD dalla regione di svuotamento. Pertanto, sia nella regione di svuotamento che vicino ad essa per qualche LD si avra una condizione di inversione di popolazione. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED Nella regione di inversione, e a qualche LD da essa, c e pertanto una forte emissione di fotoni, la cui energia e compresa fra Eg e (Fn-Fp). Se l emissione stimolata supera quella spontanea (ovvero per una opportuna cavita ottica) e supera le perdite si avra un effetto laser, altrimenti un diodo elettroluminescente, LED. L emissione luminosa aumenta con la polarizzazione diretta, sia per l aumento della corrente iniettata che per l allargamento della regione ove si ha inversione di popolazione. Perche si possa avere un LED oppure un laser a giunzione, si deve pertanto avere un semicondutttore con tempo di vita media radiativa dei portatori molto piccolo (ossia alta probabilita di ricombinazione radiativa), caratteristico dei materiali a banda proibita diretta, e si deve poter drogare il semiconduttore sia p che n. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED Comparison of chip technologies for wide-angle, non-diffused LEDs LED Color Standard Brightness Chip Material lpk (nm) High Brightness Iv (mcd) Viewing Angle Chip Material lpk (nm) Iv3 (mcd) Viewing Angle Red GaAsP/GaP 635 120 35 AS AlInGaP 635 900 30 Orange GaAsP/GaP 605 90 30 AS AlInGaP 609 1,300 30 Amber GaAsP/GaP 583 100 35 AS AlInGaP 592 1,300 30 Yellow GaP 570 160 30 -- -- -- -- Green GaP 565 140 24 GaN 520 1,200 45 Turquoise -- -- -- -- GaN 495 2,000 30 Blue -- -- -- -- GaN 465 325 45 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED Un semaforo a Durham, NC, USA EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Diodo emettitore di luce: LED Efficiency (%) 10 1.0 0.1 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Un caso interessante di proprieta intellettuale 2 February 2004 A judge has ordered Nichia to pay its former employee Shuji Nakamura 20 billion yen for the blue LED patents he filed while working for the company. S. Nakamura, the researcher credited with Nichia s phenomenal success in the nitride LED and laser field, has been awarded a sum of $189 million in compensation for patents that he filed while working for the Japanese company. Nakamura, who left Nichia in 2000 to take an academic post at the University of California at Santa Barbara, was paid 20,000 yen ($189) for each of the many patents that he filed while working for Nichia. At one stage, he continued his ground-breaking research in violation of written instructions from his superiors to stop working on nitride-based devices. In September 2002, Nakamura lost his claim that he, rather than Nichia, owned the patents However, the court recognized that Nakamura was entitled to compensation based on the amount of profit generated by the intellectual property for which he was responsible. In his ruling announced on January 30, presiding judge Ryoichi Mimura estimated that the patents in question could have generated a total of 120.8 billion yen ($1.14 billion) for Nichia by the time they expire in 2010. The judge also ruled that Nakamura s contribution was not less than 50% , saying that the patents had made possible the commercialization of blue LEDs. With the total value of the transfer of patent rights from Nakamura to Nichia valued at $60.4 billion yen, the judge awarded Nakamura the 20 billion yen that he had requested when filing the lawsuit. Nichia is expected to report total sales of 180 billion yen ($1.7 billion) for its financial year ended December 31, 2003, up 55% over the previous year. LED products account for about 80% of that figure, or $1.36 billion. This dwarfs the revenue generated by competitors such as Cree, which reported LED sales of $56.5 million for the last quarter of 2003. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Un caso interessante di proprieta intellettuale The judge commented that Nakamura deserved the sum because the invention was a totally rare example of a worldclass invention achieved by the inventor s individual ability and unique ideas in a poor research environment at a small company. I am pleased that my contribution was recognized as 50%, said Shuji Nakamura. This ruling will increase the incentive for researchers to invent, and companies will profit from it over the long run as well. The patent ruling in the Nichia-Nakamura case came one day after another judge awarded 163 million yen ($1.5 million) to a former employee of Hitachi for the transfer of patent rights in the filed of optical discs. However, since the patent in question had expired, future profits were not a factor. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a semiconduttore FC CB hv EF VB eq. A P 2 dE C ( E ) f c ( E ) V ( E h ) 1 f v ( E h ) rstim h A P 2 dE V ( E h ) f v ( E h ) C ( E ) 1 f c ( E ) rass h Rnet stim h rass rstim inv. FV Nei semiconduttori si deve prendere in considerazione una distribuzione quasicontinua di stati rstim rass 4 *2 2 con c2 4 *2 c2 A P 2 dE C ( E ) V ( E h ) f c ( E ) 1 * 1 me* fv (E h ) g (hv) (guadagno) (hv) (assorbimento) gh h g net h 1 mh* 2 g EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Laser a semiconduttore g net h Rnet stim rstim rass A P 2 dE C ( E ) V ( E h ) f c ( E ) fv (E h ) Il guadagno netto dipende; - dal flusso di fotoni , ossia dal campo e.m. e dalla cavita ottica; - dalla differenza fra le probabilita di occupazione della banda di conduzione e di valenza in condizioni non stazionarie, ossia in condizioni di iniezione (forte) di portatori descritte dai quasi livelli di Fermi; - dalla densita degli stati della banda di conduzione e di valenza. Vediamo ora come si possano ottimizzare separatamente queste condizioni di funzionamento ricercando e ottenendo: - un confinamento del campo e.m. prima in una, poi in due e tre dimensioni; - un confinamento della regione di inversione, e dei portatori, nello spazio reale. EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi La cavita ottica e la corrente di soglia Abbiamo detto che un particolare modo del campo e.m. si rinforza se la sua lunghezza d onda e tale che L m 2 ove L e la lunghezza della cavita ottica L L R2 R1 La corrente di iniezione di soglia per avere g: guadagno dovuto alla emissione GaAs amplificazione laser e determinata dalla stimolata relazione fra intensita a due passaggi successivi : perdite dovute all assorbimento In 1 g net I n R1 R2 e ( 2 gL g g net th 2 L 2 c Amplificazione agevolata se: diminuiscono e c aumenta L cL) In 1 ln R1 R2 2L c: perdite dovute a imperfezioni della cavita , e.g., modi della emissione stimolata non allineati con la cavita , emissione spontanea, energia laser estratta EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il campo e.m. per j ~ jth Si consideri una emissione spontanea, incoerente Se m >> 1, ovvero L/ >>1, si ha un quasi continuo di valori e m 2 Ln 2 L n ; discretizzando m 2 0 0 0 2 0 0 Laser emission 1.15 1.20 1.25 1.30 1.35 Energy (eV) 2 Ln 1 0 1 0 n n 0 m 0.1 nm Un numero molto alto di modi cresce percio per emissione stimolata, fino a che uno domina su gli altri Lo spettro dell emissione stimolata e determinato dal rapporto L/ , ovvero dai modi della cavita che soddisfano la m 2Ln 0 EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il campo e.m. per j ~ jth vicino soglia 5 Jth 4 Jth 3 Jth soprao glia 2 Jth 1.5 Jth 1.265 1.270 1.275 1.280 1.285 Energy (eV) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Il campo e.m. per j ~ jth GaAs Emissione stimolata tende a prevalere nella banda di impurezze, ove l assorbimento e minore (tipicamente 1018 cm-3 contro 1022 cm-3 centri) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Riassumendo L inversione di popolazione necessaria per l emissione stimolata coerente e ottenuta per iniezione di coppie elettrone lacuna La cavita ottica per l amplificazione del campo e.m. e data spontaneamente dalle formazione naturale dei superfici speculari parallele per clivaggio del semiconduttore e- h+ EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi Vantaggi dei laser a semiconduttore Giunzione p++ n++ fra materiali degeneri Cavita risonante con la corretta geometria Dissipatore di calore Substrato di GaAs di tipo n++ Diffusione di Zn p++ Clivaggio (110) e (1-10) in superfici (001) Montaggio su un dissipatore di calore (diamante su rame) Dimensioni ridotte (~ mm3), ma piccola potenza (comunque sino a qualche W) Alta stabilita meccanica Facilita di modulazione su larga banda (~ GHz) Facilita di variare la lunghezza d onda Grande efficienza interna ( 0.5) EDSS_Laser 2007/2008 Mario Capizzi