report
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Una fonderia
per i Mems
La californiana Imt è specializzata nella fabbricazione di dispositivi
microelettromeccanici per conto terzi e, oltre all’attività di fonderia, offre
servizi di progettazione. Un Mems prodotto da Imt ha recentemente trovato
applicazione in un sistema medicale per la selezione delle cellule.
H
a sede a Santa Barbara, nota
località balneare californiana, la
più grande fonderia statunitense
specializzata unicamente nella
fabbricazione di Mems. Si tratta di
Imt (Innovative Micro Technology),
una società fondata nel 2000 che
oggi rivendica un ruolo di leadership
in questo settore. Nel corso di un
recente incontro con la stampa, il
vicepresidente per lo sviluppo del
business Craig Trautman ha infatti
presentato l’azienda elencando
una lunga serie di primati: Imt ha
prodotto grandi quantità di Mems
(oltre 62 milioni di switch) e tra i suoi
fiori all’occhiello sono compresi i
SELEZIONE DI ELETTRONICA
processi di fabbricazione più precisi
(con la possibilità di realizzare un
milione di fori in un unico chip); il
Mems più veloce del mondo (da zero
a 1,4 metri al secondo e ritorno in 15
microsecondi, accelerazione media
di 12.000 G); il Mems più sensibile del
mondo (sensori di massa nell’ordine
dell’attogrammo); e infine i Mems
più complessi (fino a cinque wafer
sovrapposti, possibilità di integrare
ottica riflettiva e rifrattiva, di realizzare
sistemi microfluidici tridimensionali,
attuatori azionati magneticamente
ecc.). La società opera praticamente
in tutti i settori applicativi dei Mems:
sistemi a radiofrequenza (con
dispositivi come switch, interposer
ecc.), infrarossi (sistemi per visione
notturna ecc.), energia, sistemi
di collaudo, apparati biomedicali,
biotecnologie, ottica (Wss/Roadm,
Variable Optical Attenuator, Planar
Lightwave Circuits), dispositivi per
navigazione (accelerometri, giroscopi
ecc.). La capacità produttiva annua
di Imt è di 45.000 wafer da sei pollici;
tra i suoi punti di forza tecnologici
è compresa un’offerta di diversi
metodi di wafer bonding per il
confezionamento ermetico wafer-level,
nonché un processo collaudato per la
realizzazione diTsv (Through silicon
via) placcate in rame.
[ tecnologie Mems ]
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Imt ha a disposizione diverse tecnologie
per il wafer bonding
Alla capacità produttiva di Imt di 45.000 wafer da sei pollici all’anno, si aggiunge
l’offerta di una vasta gamma di servizi progettuali e di Intellectual Property
Non solo fabbricazione
Un’applicazione
per la selezione delle cellule
A differenza delle fonderie che
fabbricano circuiti integrati,
Imt offre anche una gamma di
servizi oltre alla pura e semplice
lavorazione del silicio. “Essendo
una fonderia di Mems dobbiamo
fare anche tante altre cose”, ha
spiegato Trautman. In particolare,
Imt è in grado di assistere i clienti
nella realizzazione del progetto
di un nuovo dispositivo Mems,
sviluppando l’idea iniziale con l’aiuto
di una notevole mole di Intellectual
Property. Nel corso dei propri
dodici anni di vita, infatti, la società
ha creato un grande repertorio di
blocchi costruttivi in un formato
equivalente a ciò che nel settore
dei circuiti integrati viene definito
“soft IP”. Utilizzando blocchi di
IP preesistenti diviene possibile
abbreviare i tempi di sviluppo di un
nuovo Mems. Ad esempio, sono stati
sufficienti sei mesi per realizzare
- sulla base dell’idea proposta da
un’industria farmaceutica - una
micro-pompa per un dispositivo che
consente di iniettare farmaci tramite
una schiera di micro-aghi.
Tra i possibili esempi applicativi dei
Mems realizzati da Imt, la società
assegna particolare importanza al
sistema di selezione delle cellule
(cell sorter) recentemente realizzato
dalla società Owl Biomedical,
Tra i vari primati di Imt quello del Mems
più sensibile del mondo
anch’essa avente sede a Santa
Barbara. Ricordiamo brevemente che
in medicina la selezione delle cellule
prelevate dal corpo del paziente viene
utilizzata in numerose terapie per la
cura di gravi patologie. Il mercato offre
una varietà di sistemi per la selezione
delle cellule, basati su principi diversi; il
sistema Nanosorter di Owl Biomedical
è basato sul collaudato principio
Facs (Fluorescence-activated sorting),
utilizzato in combinazione con un
dispositivo meccanico che impiega una
microvalvola Mems realizzata da Imt.
La microvalvola (la più veloce al mondo,
secondo Imt) è collocata all’interno di
una cartuccia monouso che rende molto
comodo l’impiego dell’apparecchiatura.
Grazie anche al Mems di Imt, il
Nanosorter di Owl Biomedical è in
grado di offrire prestazioni molto
competitive: la sua velocità gli consente
di selezionare grandi quantità di
cellule (fino a 200 milioni all’ora)
senza diffonderle nell’aria, cosa che
metterebbe a rischio la salute degli
operatori; il sistema, inoltre, assicura
la sopravvivenza di oltre il 97% delle
cellule selezionate.
a cura di Roberto Frazzoli
gennaio 2013