VENEZIA 03/07 Novembre 2008 Seconda edizione 2008/2009 Progetto nazionale Lauree Scientifiche Processi litografici Liceo Scientifico “G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia di Monica Sambo Liceo “G. Veronese” Chioggia (VE) [email protected] Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia OTTICHE (UV) ELETTRONICHE (E BEAM) LITOGRAFIE SELF ASSEMBLY (POLYMER) A CONTATTO (IMPRINTING) … Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia ARGENTATURA litografia Preparazione dello spicchio Sensibilizzazione con il cloruro stannoso Preparazione del reattivo di Tollens Deposizione dell’argento Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia RAMATURA litografia Soluzione di rame Ramatura per elettrodeposizione Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia LITOGRAFIA litografia Preparare la maschera Spruzzare il photoresist Sistemare il tutto nella camera UV Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia SVILUPPO litografia Soluzione di NaOH Immergere lo spicchio e sciogliere il photoresist non esposto a raggi UV Lavare con acqua distillata litografia Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia PROCESSI LITOGRAFICI UV MASCHERA PHOTORESIST RAME ARGENTO PHOTORESIST Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia NICHELATURA litografia Elettrodeposizione Preparare la soluzione acida di Nichel Lavare con acetone Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia litografia Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia DEPOSIZIONE ELETTROLITICA DI NICHEL DEPOSIZIONE DI NICHEL Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia PEZZO FINALE DOPO LA RIMOZIONE DEL FOTORESIST NICHEL Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia PRODUZIONE INDUSTRIALE DEI CD DVD Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia PROCESSI LITOGRAFICI INDUSTRIALI ESEMPIO DI UN DISPOSITIVO ELETTRONICO INDUSTRIALE Liceo ”G. Bruno” Università “Ca’ Foscari” Venezia litografia RINGRAZIAMENTI Prof. Fabrizio Estini Prof. Stefano Polizzi Università Ca’ Foscari di Venezia Prof. Paolo Ugo Prof. Francesco Minosso Liceo Scientifico “G. Bruno”