DRY VACUUM PUMP
TECHNOLOGIES
Le tecnologie delle pompe a secco
Dr.Joris Cinquetti
Cinquepascal srl
Drypumping Technology
•
La tecnologia del pompaggio a secco E’ UNA TECNOLOGIA BEN
STABILIZZATA; per le applicazioni industriali più gravose si può
contare su :
– 20 anni di esperienza
– >150.000 drypump installate
• Semiconductor Processing
– Dusty Application (CVD)
– Applicazioni Aggressive (Etching)
• Processi Chimici
– Processi con Acidi e solventi in applicazioni che presentano
spesso il rischio di ingestioni liquide
Drypumping Technology
• Quali sono le ragioni per
utilizzare le pompe a secco se
sono più care delle pompe
tradizionali?
Perché il pompaggio a secco?
• L’olio è il punto critico nei processi di pompaggio I meccanismi di
pompaggio sono senza olio (OIL FREE) e quindi non vi è nessun
processo connesso al degrado dell’olio nelle pompe a secco.
• Con l’olio quello che entra in pompa non è ancora fuori dal processo!
L’ingresso di polveri nell’olio conduce alla formazione di una melma
compatta che può rigare i meccanismi ed indurre perdita nelle
prestazioni della pompa, oppure può occludere le linee di
lubrificazione danneggiando definitivamente i meccanismi. I vapori
condensabili (tipicamente l’acqua) emulsionano nella pompa
modificandone le caratteristiche e potenzialmente corrodendola. L’olio
viene attaccato e degradato da molti prodotti di processo (solventi o
gas da plasma, etc)
Vantaggi del pompaggio a secco
Riduzione dei costi di processo
• Sicurezza e Affidabilità
I meccanismi non sono a contatto tra loro
Minima usura
• Riduzione della manutenzione ordinaria
olio e filtri
• Riduzione della manutenzione straordinaria
la pompa aggredita e corrosa tipica dell’olio non è più così
frequente e la manutenzione è solamente dedicata alla integrità
meccanica (esempio i cuscinetti) e prevedibile su tempi lunghi (6
anni)
Vantaggi del pompaggio a secco




Pompaggio di vapore acqueo, solventi ed aggressivi con
possibilità di diluizione forte per gas corrosivi, tossici e
piroforici
Possibilità di recuperare il solvente “pulito” allo scarico
della pompa
Possibilità per polveri solide di attraversare il meccanismo
pompante. Questa possibilità non esiste nelle pompe con
olio nelle quali la contaminazione solida finisce con
rompere il meccanismo
Possibilità di lavorare a qualsiasi pressione intermedia
senza particolari problemi
Benefici comuni ai vari tipi
di pompe a secco
• Benefici ambientali
–
–
–
–
Nessun olio da stoccare.
Nessun olio da smaltire
Nessun olio emesso in ambiente
Nessun olio respirato dal personale
• Benefici tecnologici di processo
– Uniformità nel tempo delle prestazioni delle pompe
– Recupero facilitato dei gas pompati e facilità di trattamento
degli stessi
• Processi puliti
– Non vi è inquinamento della camera di processo
– Non vi è inquinamento del gas pompato
– Non vi è cross contamination
Applicazioni
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
Distillazione
Essiccamento
Evaporazioni
Reattori
Pompaggio e Recupero Solventi
Pompaggi in sterilizzatori con ossido di etilene
Impianti centralizzati
Pompaggio di gas con basse temperatura di auto-ignizione (T4)
Pompaggio di gas infiammabili (IIA,IIB)
Pompaggio di gas corrosivi
Pompaggio di acidi grassi
Ricircolo gas di processo (azoto elio etc)
Fornaci da vuoto (metallurgia)
Liofilizzazione
Principi delle Dry Pump Technologies
• Nell’industria:
– Lobi tipo Roots e
multiroots
– Vite
– Claw e multiclaw e
combinazioni
– Palette di grafite
• Le pompe a secco
debbono garantire che
potenziali
contaminazioni passino
attraverso i meccanismi.
• Nei laboratori di ricerca
–
–
–
–
–
–
Scroll
Membrana
Pistone e multipistone
Grafite
Setacci molecolari
Rotativa a palette di grafite
• Le pompe a secco
debbono principalmente
garantire la non
contaminazione del
sistema in vuoto
Pompa a vite -Screw pump
Screw Pumps - Generalità
Principio ben utilizzato per i compressori, adattato per il vuoto.
• Il meccanismo pompante è costituito da due viti senza fine, a passo
costante, che ruotano sincrone con piccole tolleranze. Il gas pompato
muove assialmente sospinto dal moto spiraleggiante della vite verso lo
scarico.
• Le viti agiscono come una tenuta dinamica e tutto il pompaggio avviene
nell’ultimo quarto di giro.
• Originalmente sono state sviluppate per il pompaggio di gas radioattivi, poi
per l’industria chimica (tolleranza al pompaggio di vapori e di liquidi) ed
infine per applicazioni nei semiconduttori.
• Può essere orizzontale o verticale dipende dal costruttore e dal settore
merceologico a cui si rivolge.
• Il vuoto finale è dato dal numero di eliche nella vite e dalle tolleranze tra le
eliche e lo statore. Vuoto ultimo misurato con Pirani : 0,001 mbar
•
Meccanismo a vite orizzontale
Screw pump- Pompa a vite
Pompa a vite orizzontale
Pompa a vite verticale
Pompe a VITE : Caratteristiche positive
•
•
•
•
•
•
•
Buon vuoto finale ed elevate portate
Costruzione apparentemente semplice
Facile da smontare
Ottimo smaltimento di liquidi
Possibilità di flussare i solventi durante il pompaggio
Elevato rapporto di compressione
Mancanza di zone di intrappolamento per il gas o per le
polveri trascinate nel pompaggio
• Il flusso nella pompa è diretto
• La pompa non richiede condensatori di interstadio
• Possibilità di riscaldare uniformemente lo statore
prevenendo la condensazione
Pompe a VITE : Limiti
•
•
•
•
•
•
Non vi è compressione del gas se non nella elica che è connessa allo scarico. Il volume è
costante lungo l’asse di pompaggio e non vi sono stadi di compressione
Il gas subisce una grande quantità di lavoro con conseguente consumo di energia
Lavora molto calda sullo scarico, la temperatura può superare i 300 gradi in una zona
limitata vicino allo scarico
Le viti vanno cambiate a coppia e sono molto complicate da produrre I rotori sono
molto cari anche per il coating protettivo usato come letto “sacrificale”.
Nel tempo il valore del vuoto finale peggiora con il diminuire del coating (può arrivare
anche ad 1 decade)
Le polveri contribuiscono alla rovina del coating per abrasione fra i rotori in un moto
circolare.
•
Il volume costante attraverso il meccanismo significa che un volume grande di gas viene
ricompresso allo scarico.Maggiore è la ricompressione maggiore è il consumo di energia
(anche vicino alla pressione finale) e più alta è la temperatura che può arrivare ai
300oC.
•
Il raffreddamento di una pompa a vite è vitale soprattutto vicino allo scarico, vicino ai
cuscinetti ed all’olio per rimuovere il calore in eccesso.
•
Molti gas e materiali di processo possono polimerizzare alle temperature elevate.
•
Le elevate temperature possono ridurre le vita dei componenti
Pompa a vite
Il contatto è evidente in questo
punto sullo scarico atmosferico
• La tolleranza ed il numero di spire è
cruciale per determinare il vuoto finale.
• La portata è determinata dal volume del
gas intrappolato tra le spire.SCREW
Curve tipiche della pompa a vite
400
350
Speed (m3/h)
300
250
200
150
100
C400 @ 60Hz
KDP 400 @ 60Hz
50
0
0,001
0,01
0,1
1
Pressure (mbar)
10
100
1000
Considerazioni sui meccanismi a vite
I picchi di
Valore
 La Ri_ compressione del gas
richiede molta
potenza
TEMPERATURA
PRESSIONE
temperatura e
pressione possono
causare reazione nei
gas pompati
Bisogna utilizzare
molta acqua & N2 per
contenere i picchi di
temperatura
I solidi possono
condensare sulle
superfici fredde
Posizione
Considerazioni sui meccanismi a vite
Richiedono cuscinetti in alto
 Suscettibile ai fenomeni di
exhaust backpressure;
possono esserci problemi
nell’accoppiamento con
tecnologie di abbattimento
vapori
vuoto in alcuni modelli
I rotori vengono forzati ed
abrasi dai depositi: alcuni
costruttori prevedono la pulizia
col vapore dopo i pompaggi
5 oil seals in alcuni modelli
Pompa a lobi rotanti -Roots Pump
Pompa Roots
• Pompa a trasferimento di gas che
utilizza due o più lobi rotanti
sincronizzati per muovere il gas.
• Vuoto ultimo misurato con Pirani
: 0,0001 mbar
• Oil free. Utilizzata normalmente
per aumentare il vuoto finale e la
portata della pompa di prevuoto.
• Speed range 250 30.000 m3/h
Roots
Meccanismo Roots Trilobato
Roots pump
VANTAGGI
SVANTAGGI
• Richiede pompa
• Alto rapporto di
preliminare (più stadi di
compressione
pompaggio)
volumetrico alle basse
pressioni
• Compressione bassa alle
alte pressioni
• Meccanismo molto
conosciuto
• Dilatazione eccessiva
(forte raffreddamento)
Pompa Booster
• Il meccanismo roots è un dispositivo senza valvole dove
una coppia di rotori a lobi, interconnessi e sincronizzati,
ruotano in direzione opposte con un minimo gioco l’uno
rispetto all’altro e rispetto alle pareti dello statore.
• Il gas è intrappolato all’ingresso di ogni lobo ed incanalato
verso l’uscita lungo le pareti dello statore.
• Rimuove grandi volumi di gas ma non è un vero
compressore
• La sua efficienza è al massimo tra 1 e 10-2 mbar
Problemi di retroespansione del gas
• Il meccanismo Roots non è adatto per
scaricare ad alta pressione con un alto
rapporto di compressione. Una tale
operazione comporta un grande lavoro da
fare sul gas e comporta problemi di
riscaldamento che possono portare al blocco
del meccanismo stesso.
Inlet pressure
50
Ratio of
Outlet pressure
Rapporto di compressione
40
30
20
10
-3
10
-2
10
-1
0
1
10
10
10
Inlet pressure (mbar)

la pompa booster opera solo in combinazione con altri meccanismi pompanti

è un meccanismo a volume costante pressione variabile

opera su un relativamente piccolo rapporto di compressione
2
10
3
10
Meccanismo a dente - Claw Mechanism
Meccanismo a Claw singolo
VANTAGGI
• Autovalvolante
• Buona compressione
all’atmosfera con poco
calore generato
• Capacità di pompare
vapori e polveri
• Compattezza
• Facilità di diluizione del
gas pompato con ballast
SVANTAGGI
• Il vuoto finale di uno
stadio è di un centinaio di
millibar
• Vi è una zona di rientro
gas pompato che se
riempito di liquido
potrebbe bloccare la
pompa
• Necessità di gas per la
pulizia delle tenute
• Poca compressione alle
basse pressioni
Claw Compression Ratio
Inlet pressure (mbar)
Inlet pressure
50
Ratio of
Outlet pressure
Claw mechanism
Claw mechanism
40
30
20
10
Roots mechanism
-3
10
-2
10
-1
0
1
2
10
10
10
10
Outlet pressure (mbar)
3
10
Claw Mechanism
Meccanismi a stadi multipli
•
•
•
•
•
Meccanismi roots multistadi
Dente a claw
Meccanismi multi-claw
Multistadi claw invertiti
Multistadi claw invertiti con stadi roots
Meccanismi roots multistadio
Meccanismo a tre stadi con valvole interne
Tre stadi con cinghie
Compressione povera
Valvole di interstadio
Manutenzione complessa
Raffreddamento motore forzato
Disponibile solo per pompaggi molto puliti
Minima capacità di pompaggio liquidi
No explosion testing
Inadatta agli attacchi chimici
Quasi scomparsa dal mercato
Tre stadi roots con condensatori d’interstadio
• Compressione
inefficiente
• Eccessiva generazione
di calore
• Essenziale l’Interstage
cooling
• Rischi elevati di :
– Cooler blockage
– Condensation
– Chemical attack
Questo meccanismo a 6
stadi permette di
raggiungere 10-2 mbar.
I primi 3 meccanismi
bilobati non hanno
scambiatori di calore di
interstadio, mentre il
secondo gruppo di 3
rotori trilobati li prevede.
I lobi sono montati su
una coppia di assi
diversi tra loro poiché
un asse troppo lungo
potrebbe flettere sotto
carico e bloccare il
meccanismo
La pompa sostituisce una doppio stadio ad olio
Osservazioni generali sui tre stadi Roots
• Si genera eccessivo calore
• I condensatori di interstadio
sono essenziali
• Probabile punto di blocco
senza meccanismi di
sblocco
• Condensazione con
probabile attacco chimico
• Scarsa capacità di ingerire
liquidi
•
•
•
•
•
3 stadi
Spesso motore a cinghia
Compressione povera
Valvole di interstadio
Manutenzione continua
nei processi pesanti
• Motore adeguato
• Consigliata per le
applicazioni ‘clean’
Two Stage Claw Mechanism
• Due stadi di compressione
• Alti rapporti di compressione
• Eccessiva produzione di
calore
• Condensatore di interstadio
• Condensazione
• Corrosione
• Rischio di blocco idraulico
• Nessun meccanismo di
sblocco
Three-stage Reversed Claw Pump
INGRESSO
CLAWS
INVERTITI
SCARICO
Three-stage Reversed Claw Pump
…Gas Flow Path
Alcuni vantaggi del design con lobi invertiti
Non vi è una riduzione della temperatura del gas tra gli
interstadi
le eventuali Polveri sono pompate
attraverso la pompa
Multi stage inverted claw
Vantaggi
Svantaggi
• Il cammino del gas è minimizzato
• Il vuoto finale è appena
(compattezza) prevenendo la
inferiore a 0.1 millibar
condensazione e l’accumulo di
• Vi è una zona di rientro gas
particolato Eccellente pompaggio di
pompato che se riempito di
polveri, solventi condensabili.
liquido potrebbe bloccare la
• Il vuoto finale non cambia anche se uno
pompa
stadio viene corroso da polvere o vapore
• Necessità di gas per la pulizia
• Maccanismo autovalvolante con
delle tenute
distribuzione continua della temperatura
di compressione
• La pompa viene “vestita “ in funzione del
processo data la facilità di diluizione del
gas pompato con ballast
• Vuoto ultimo misurato con Pirani : 0,001
mbar
3
2
1
4
5
6
7
8
10
9
3-stage Claw
1 Inlet flange
2 Upper bearing in
removable cartridge
3 Integral water cooling
4 Heat exchanger for
cooling water circuit
5 Three stage claw
mechanism
6 Reversed claws for
shortest gas path
7 Blow-off valve for low
power consumption
8 Outlet flange
9 Gear box
10 Clutch assembly
Multi stage claw
• Come nei dispositivi “all-roots” tutti gli stadi
claw (4 in questa figura) sono sullo stesso
albero
• Se si segue l’andamento del gas si vede che
l’uscita da uno stadio e l’entrata nello stadio
successivo non coincidono e quindi è
richiesto un grande cammino per il gas nella
pompa stessa.
• Se il cammino è troppo lungo la velocità del
gas può diminuire, la sua temperatura ridursi
fino ad avere condense localizzate o depositi
di particolato. Questo può creare problemi
alla pompa ed aumentare i costi di
manutenzione
Claw with Roots
Vantaggi
• Oltre ai vantaggi
precedenti utilizza le
prestazioni ottimali della
roots operante a pressioni
inferiori di 1 mbar
• Aumento del vuoto finale
Svantaggi
• Velocità ridotta alla
pressione atmosferica
• Vi è una zona di rientro
gas pompato che se
riempito di liquido
potrebbe bloccare la
pompa
• Necessità di gas per la
pulizia delle tenute
Inlet pressure
50
Ratio of
Outlet pressure
Rapporti di compressione
Claw mechanism
40
30
20
10
Roots mechanism
-3
10
-2
10
-1
0
1
2
10
10
10
10
Outlet pressure (mbar)
3
10
Roots-claw pump mechanism
• Claw invertita
più roots
• Edwards
patent
Roots - Claw Mechanism
Flangia di accoppiamento
Tenute
Ingranaggi
Scarico
5th 4th 3rd 2nd 1st
Cuscinetti
Canned Motor
Roots multilobi
Claws & Roots
Acqua di raffreddamento
Ingresso
GV(M) Cutaway
next generation chemical dry pump
THE BRIGHTEST STAR
DRYSTAR CDX 850 –
THE NEXT GENERATION
...available in 2002
Zavorra d’azoto
La zavorra d’azoto usata in molti meccanismi a secco ha le
seguenti funzioni:
• Gas ballast
– previene la condensazione di vapori chimici nella pompa
• Purge
– mantiene la velocità del gas
• Tenuta dinamica di sicurezza sulle guarnizioni dell’albero
motore
– mantiene pulite le guarnizioni e garantisce la ermeticità
dell’accoppiamento
– segnala anomalie
• Diluizione gas
– tossici,corrosivi,piroforici ed ossidanti
Obiettivi ed innovazioni per le nuove
generazioni di pompe a secco industriali
Capacità di lavorare molto calde
Aumentare la capacità di pompare polveri
Non avere cuscinetti in vuoto
Ridurre la Potenza
Non necessitare di gas di tenuta sull’albero
Ridurre od eliminare acqua di raffreddamento
Ridurre il “footprint”
Principi delle Dry Pump Technologies
• Nell’industria:
– Lobi tipo Roots e multiroots
– Vite
– Claw e multiclaw e
combinazioni
– Palette di grafite
• Le pompe a secco
debbono garantire che
potenziali contaminazioni
passino attraverso i
meccanismi.
• Nei laboratori di ricerca
–
–
–
–
–
–
Scroll
Membrana
Pistone e multipistone
Grafite
Setacci molecolari
Rotativa a palette di
grafite
• Le pompe a secco
debbono principalmente
garantire la non
contaminazione del
sistema in vuoto
Pompa a membrana
• Pompa a trasferimento di gas
che utilizza il moto oscillante di
un diaframma per muovere il
gas.
• Vuoto ultimo misurato con
Piezoresistivo nei modelli a più
stadi : 1 mbar
• Pompa oil free. Resiste a molti
processi chimici di laboratorio
Meccanismo a pistone multiplo
Pompa scroll
• Pompa a trasferimento di gas
che utilizza il moto
rototraslatorio di una chiocciola
di profilo particolare per
muovere il gas
• Vuoto ultimo misurato con
Pirani : 0,01 mbar
• Applicazioni Oil free.
• Hanno una capacità limitata nel
pompare vapori o gas chimici
dato che non sopportano liquidi
• Non sono adatte ad utilizzi
industriali eccetto per le “load
lock”.
Principio delle pompe Scroll
•
•
•
•
•
Due meccanismi scroll(chiocciola), uno inserito nell’altro.
Uno fisso, l’altro mobile in un moto rototraslatorio.
Il meccanismo scroll intrappola tasche di gas e le
trasferisce continuamente verso il centro della chiocciola
fissa.
Ogni chiocciola ha 5 orbite per trasferire e comprimere il
gas prima che raggiunga lo scarico
La pressione ultima è di circa 10-2 mbar.
Quindi il valore di vuoto è simile a quello di una pompa
rotativa a bagno d’olio doppio stadio.
Principio di funzionamento
OUTLET
INLET
GAS
FIXED SCROLL
1
2
3
7
4
6
5
ORBITING
SCROLL
Movement of gas in a scroll mechanism
Scroll pump
Back Fixed
Orbita
Scroll
fissa
Orbita
Front side
mobile
of Orbiting
Scroll
Fronte
fisso
Front Fixed
Retro
Rear
of dell’orbita
Orbiting
mobile
Scroll
Dividing
Divisore
Wall
Seconda generazione Scroll Pumps
•
•
•
•
Piccole portate
Pompaggio “chimico”
Minimo consumo energetico
Manutenzione semplice
Pompa ad assorbimento 1
• Pompa a cattura, statica, che utilizza
materiale adsorbente ad alta
superficie raffreddato in un bagno di
azoto liquido.
• I gas sono fisicamente assorbiti sulla
superficie di stracci molecolari od
altri materiali porosi
• Vuoto tipico (funzione del volume da
vuotare): 10-2 mbar
• Applicazioni: Oil free. Pompaggio
preliminare a pompe tipo ion getter.
• Effetti di saturazione, portata
decrescente nel tempo
• Effetti di pompaggio selettivo dei
gas; pompa poco H2 o gas nobili
Pompa ad assorbimento 2
• Tipicamente è un contenitore in alluminio od in acciaio inossidabile
con alette per il trasferimento del calore immerso in un bagno di azoto
liquido, riempito dio materiale adsorbente
• Il materiale tipico sono le zeolite come la Zeolite 13X-allumino silicato
alcalino (in pellets di 5-8 mm per 3 di diametro) o più raramente il
carbone attivo
• Le porosità consigliate dei setacci molecolari sono di 0,4 nm (diametro
molecolare N2=0,32 nm e O2=0,29 nm); il rapporto superficie interna
peso è tipicamente 550m2/g e le cariche vanno da 300 a 1200 g.
• es. la 13X ha una superficie di 13 m2/g, diametro pori 13A, 5 1018
molecole assorbite per ogni mm2, che per N2 corrispondono a 2*10-4 g
od 0,2 mbar*l.
• In un sistema da 15 l di volume con aria “pulita” si raggiungono da
0,02 a 0,04 mbar con una carica di 300 g.
• L’utilizzo di due sistemi in serie permette di raggiungere qualche 10-4
mbar
Pompa ad assorbimento 3
IPX
La pompa IPX è una pompa primaria
sviluppata per il mercato dei
semiconduttori
• Motore e meccanismi pompanti
integrati in un unico albero ad
elevata velocità
• Meccanismo di pompaggio
combinato tra:
– Uno o più stadi drag a bassa
pressione Holweck
– Multistadi fluidodinamici per
l’alta pressione
• Scarico alla pressione atmosferica e
pressioni da 10-2 a 10-5 mbar.
IPX Drag Holweck
Drag Statore
Stadio single drag Holweck
Inlet
Drag Rotore
Canale ad elica
Cilindro stazionario
Outlet
Cilindro rotante
• Cilindro rotante con scanalatura ad elica stazionaria
o
• Rotore con scanalatura ad elica rotante e cilindro
stazionario
• Opera nei regimi molecolare e di Knudsen
IPX Meccanismo Fluidodinamico
FD Rotore
Uscita
Ingresso
Stadio singolo FD
Rotore
Sezione A-A
del canale
A
A
Lama
Canale
del flusso
FD Statore
Statore
Cammino
del gas
Tipico cammino
delle molecole di
gas
• Le lame, aerodinamicamente sagomate allo scopo,
ruotano ad elevata velocità causando delle spirali
vorticose di flusso nei canali
• Servono multistadi per raggiungere la necessaria
compressione
• Normalmente opera in regime viscoso
IPX - Cross Section
Vacuum Inlet
Low Pressure
Drag Stages
High Pressure Fluid
Dynamic Stages
Inlet Strainer
Seals
Water Outlet
Exhaust
Upper Bearing
Drive
EMC Filter Pack
Motor
Lower Bearing
Water Inlet
Oil Filter
Oil Pump
IPX Stadi e Vuoto
IPX100
2 Stadi
convenzionali
Drag
IPX180
3 Stadi
convenzionali
Drag
IPX500
1 Rotore ad
elica più 4
stadi
convenzionali
Drag
100 m3/hr
5 x 10-3 mbar
180 m3/hr
1 x 10-4 mbar
500 m3/hr
1 x 10-6 mbar
IPX100 Speed curve
Speed (m3/h)
1000
100
10
1
0.1
0.001
0.01
0.1
1
10
Pressure (mbar)
100
1000
IPX Speed Curves
IPX500
600
Speed (m3/hr)
500
400
300
IPX180
200
100
0
1.E-07
IPX100
1.E-06
1.E-05
1.E-04
1.E-03
1.E-02
1.E-01
Pressure (Torr)
1.E+00
1.E+01
1.E+02
1.E+03
IPX500 gas speed curves
Speed Curves for Gas Species IPX 500
600
500
Argon new
Nitrogen (new)
Helium (3 SLPM N2)
Hydrogen (3 SLPM N2)
Speed m 3/hr
400
300
200
100
0
1.00E-06
1.00E-05
1.00E-04
1.00E-03
1.00E-02
1.00E-01
Pressure mbar
1.00E+00
1.00E+01
1.00E+02
1.00E+03
IPX
• Compatta
• Pulita (non ci sono
cuscinetti in vuoto)
• Elevata
affidabilità/minima
manutenzione
– meccanismi non a
contatto
– nessuna usura (non
genera particolati)
• Vibrazioni
ridottissime
• Rumore non
eccessivo
• Bassi consumi