LED ad alta efficienza Docente: Mauro Mosca (www.dieet.unipa.it/tfl) A.A. 2015-16 Ricevimento: alla fine della lezione o per appuntamento Università di Palermo – Scuola Politecnica – DEIM Difficile ottenere alta efficienza? - regione attiva larga (portatori minoritari diffondono) - portatori non localizzati - velocità di ricombinazione radiativa proporzionale a concentrazione di portatori: R = Bnp Doppia eterostruttura omogiunzione eterogiunzione cariche distribuite su una distanza pari alla lunghezza di diffusione (a) (b) cariche confinate all’interno della regione a bandgap più stretta Quantum-well Doppia eterostruttura - aumenta localizzazione - diminuisce autoassorbimento (regione attiva sottile) Struttura a quantum-well Eterostrutture a confinamento separato In una doppia eterostruttura la regione a bandgap più stretto di solito ha cariche confinate GRaded INdex Separate Confinement anche un più alto indice di rifrazione Heterostructure (GRINSCH) fotoni confinati Separate Confinement Heterostructure (SCH) anche i fotoni sono confinati!! migliora la sovrapposizione tra l’onda ottica e le regioni a pozzo quantico Perdita di cariche saturazione intensità ottica alta iniezione di corrente Analogia del secchio d’acqua… troppa acqua e il secchio straripa! Perdita di cariche overflow di cariche Intensità ottica emessa da un LED in In0,16Ga0,84As/GaAs con regioni attive consistenti in 1, 4, 6 e 8 quantum well e intensità teorica di una sorgente isotropa perfetta (in linea tratteggiata) Electron-blocking layer no barrier to the flow of holes undoped doped structure structure dn G R Rl dt Meccanismi radiativi e non radiativi rad Rrad Rrad Rnr Rl perdita di cariche Rrad Bnp Bn 2 Rnr An Cn 3 trascurabile in LED InGaAs/GaAs ricombinazione superficiale deep levels rad Bn 2 Bn 2 An Rl Auger ricombinazione radiativa L’estrazione della luce: cono di emissione luminosa extr abs refl sh ηextr ≈ γrefl - problema del riassorbimento nint sin int next sin ext - problema della riflessione fattore di assorbimento aria-semiconduttore next fattore nint di all’interfaccia c arcsin - ombra del contatto superiore riflessione (“shadowing”) c 2 (1 cos c ) fattore di shadowing L’estrazione della luce: cono di emissione luminosa Per θint ≤ θc I t T I i (1 R) I i I r RIi polarizzazione TE (s): nint cos int next cos ext R nint cos int next cos ext nint next R0 nint next extr refl 2 (1 cos c ) (1 R0 ) 4 2 2 (θi = 0) per emissione isotropica e R ~ R0 L’estrazione della luce: cono di emissione luminosa Tab. 1 – Efficienze di estrazione per un’interfaccia GaAs-aria a 650 nm e 970 nm angolo critico maggiore in presenza di epoxy (minore differenza d’indice) Tab. 2 – Efficienze di estrazione per un’interfaccia GaAs-epoxy a 650 nm e 970 nm grande angolo critico epoxy-aria (indice epoxy prossimo a quello dell’aria) Ottimizzazione delle geometrie regione attiva vicino la superficie efficienza aumenta di un fattore 3 ? efficienza aumenta di un fattore 6 substrato assorbente Illustrazione schematica dei coni di estrazione luminosa per diverse geometrie di LED (basate sulla geometria standard di parallelepipedo a base rettangolare): (a) substrato assorbente con strato finestra sottile; (b) substrato assorbente con strato finestra spesso; (c) substrato trasparente con strato finestra spesso. Ottimizzazione delle geometrie Aumento dell’efficienza di estrazione tramite finestra superiore spessa e substrato trasparente problema del mean photon path length for extraction (b) = (/ 2 – c) / 2 (a) Sezione trasversale di alcune geometrie ideali per LED: (a) sfera con sorgente puntiforme, (b) semisfera, (c) tronco di cono (c) Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza Evoluzione dei miglioramenti dell’efficienza quantica esterna per LED in AlGaInP. Il valore di ext è calcolato considerando il LED immerso in una cupola di epoxy Anno Design ext (%) 1990 DH su substrato in GaAs ≈2 1992 finestra spessa in GaP ≥6 1994 substrato trasparente in GaP 17,6 1996 idem 23,7 1999 idem + MQW 32,0 Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza (a) LED in AlGaInP con una finestra spessa in GaP e un substrato assorbente in GaAs. (b) LED in AlGaInP con una finestra spessa in GaP e un substrato trasparente in GaP (a) (b) Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza: geometrie TIP 55% Dispositivi a geometria TIP: (a) LED blu in InGaN su substrato in SiC, commercializzato con il nome di “Aton”; (b) Schema del percorso dei raggi nel LED (a). (c) LED in AlGaInP/GaP; (d) Schema del percorso dei raggi nel LED (c) Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza: LED a film sottile a) LED con specchio riflettente incollato su specchio dielettrico rivestito in oro lift-off epitassiale b) LED a superficie rugosa alta selettività di etching delle leghe di AlGaAs in acido fluoridrico photon recycling etching GaN natural lithography 73% c Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza: LED a film sottile c) LED a microriflettore sepolto (BMR) d) LED rastremati deve essere c LED rastremato: photoresist reflow (a) (b)