Nano-microstructural and nanomechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate E. Bemporad, M. Sebastiani, A. Dell’Aglio e F. Carassiti Università "Roma Tre", Dipartimento di Ingegneria Meccanica e industriale Via della Vasca Navale 79 - 00146 Rome Italy Introduzione L’applicazione di componenti strutturali in lega di Titanio rivestiti nel settore automobilistico è in rapido sviluppo: Incremento della resistenza ad usura Diminuzione del coefficiente di attrito Riduzione dei pesi e ottimizzazione della loro distribuzione Riduzione delle masse in moto alternativo Incremento della guidabilità Maggiore accelerazione del componente Riduzioni dei consumi Incremento della efficienza del carburante Riduzione delle emissioni di CO2 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 2 Introduzione VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 3 Introduzione Source: Balzers VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 4 Introduzione Vantaggi delle leghe di titanio Elevate proprietà meccaniche specifiche Elevata tenacità a frattura Buona resistenza alla corrosione Stabilità termica Biocompatibilità Svantaggi delle leghe di titanio Bassa durezza Bassa capacità di sopportare carichi puntuali Bassa resistenza all’usura adesiva VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 5 Introduzione A causa di tali limiti, un processo di trattamento superficiale è raccomandato in molte applicazioni strutturali, allo stato attuale nitrurazione o PVD, oppure entrambi (rivestimenti duplex); VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 6 Surface engineering on Titanium alloys Tribology International 31 (1998) 127 Surface & Coatings Technology 200 (2006) 5237 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 7 Introduzione Tuttavia, un trattamento di nitrurazione comporta solo un aumento di durezza e non di rigidezza della superficie, cosicché un successivo strato duro e rigido in PVD su substrato tenero non comporta una struttura ottimizzata in termini di load bearing capacity. S phe ri ca l i nde nte r on substra te w i th one l a ye r P ri nci pa l stre ss S 1 (GP a ) 3,048 2,316 1,583 0,851 0,118 -0,614 2,0 -1,346 -2,079 Stress (GPa) 0,0 3 µm TiN on uncoated Ti6Al4V -2,811 -3,544 -4,276 -2,0 -5,009 -5,741 -6,473 -4,0 -7,206 -7,938 -8,671 -6,0 R = 50 µm ; L = 0,1 N -9,403 -8,0 -4,0 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 -2,0 4,0 3,0 2,5 Z (µm) 2,0 1,5 and 2,0 nano-mechanical 1,0 characterisation 0,5 4,0 0,0 substrate 0,0 Nano-microstructural X (µm) E. Bemporad et Al.: PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co 3,5 4,5 5,0 of 8 Base di partenza 1ma ipotesi progettuale Ottimizzazione di: PVD (TiN) top layer •Durezza superficiale •Resistenza all’usura •Coefficiente d’attrito (Ti) bond-layer HVOF WCCo layer •Ottimizzazione di: •Load Bearing Capacity •Rigidezza di contatto •Durezza composita Ti6Al4V Substrate •Velocità di usura composita (Bemporad et Al. Thin Solid Films 515 (2006) 186-194) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 9 Introduzione Ottimizzazione 1. Adesione dello strato PVD a) b) c) 2. Gestione degli stress residui conseguenti ai processi di deposizione; Onerosità della fase di lappatura dello strato WC-Co HVOF; Studio dei meccanismi di crescita degli strati PVD su substrati eterogenei (WC, Co) Costi a) Lucidatura e preparazione di componenti a geometria cilindrica, ipotesi di scale-up. VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 10 Seconda iterazione progettuale Ti buffer layer Aumenta: Adesione PVD TiN top layer Ti bond-layer HVOF WCCo layer Diminuisce: Stress residui Ti6Al4V Substrate Progettazione ed ottimizzazione dello strato superficiale PVD Ti/TiN, basata su simulazione agli elementi finiti degli stati tensionali residui conseguenti ai processi di deposizione; Analisi della influenza della rugosità superficiale dello strato HVOF sulla adesione dello strato superficiale PVD su componenti a geometria cilindrica, e ottimizzazione del rapporto costi/prestazioni. (Bemporad et Al. Surface & Coatings Technology 201 (2007) 7652–7662 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 11 Load On Sample (mN) Risultati: nanoindentazione TiN 50 45 40 35 30 25 20 15 10 5 0 H = 35,3 ± 4,8 GPa Test 001 Test 002 E = 590,3 ± 96,9 GPa Test 003 Test 004 (ν = 0,25) Test 005 Constant strain rate condition ISO 14577 0 100 200 300 Displacement Into Surface (nm) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 12 Calcolo del modulo su HVOF E// 320 GPa E 280 GPa ETheor 600 GPa D.B.Marshall, Comunication of the American Ceramic Society, C-175 (1982) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 13 Proprietà dei materiali Proprietà dei materiali (T = 293K) adottate per il modello FEM E (GPa) - ν Yield Strength (MPa) CTE (10-6 C-1) Mechanical Behaviour TiN 590* - 0,25 - 9,4 Perfectly Elastic Ti 116 - 0,34 220 8,9 Perfectly Plastic 1500 5,45 Plastic Hardening 880 8,6 Plastic Hardening WC-17%Co 280/320** – 0,2 Ti6Al4V 114 – 0,35 *Misurato tramite nano-indentazione (metodo di Oliver&Pharr) **Valori nel piano/normale, misurato tramite microindentazione Knoop (500gf, modello di Marshall) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 14 Attività di modellazione L’interposizione di uno strato di titanio duttile (buffer layer) comporta una riduzione (prevista dalla simulazione) del campo di stress interfacciale L’efficacia del buffer layer è fortemente influenzata dalla sua (innanzitutto) posizione e (secondariamente) spessore; Simulazioni FEM hanno previsto, nel caso di spessore del film 6 µm, il minimo di stress nel caso di buffer layer posizionato a 4,5 µm dalla superficie (1,5 µm dall’interfaccia); (24% confrontato con il monostrato TiN dello stesso spessore) Un aumento dello spessore del buffer ha sempre un effetto benefico sugli stress residui, ma… (Bemporad et Al. Surface & Coatings Technology 201 (2007) 7652–7662 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 15 Attività di modellazione Un aumento eccessivo dello spessore del buffer comporta una diminuzione della durezza superficiale (Kim et Al. Surface and Coatings Technology 171 (2003) 83–90) Simulazioni analitiche della distribuzione delle tensioni (indentatore sferico, teoria di Hertz generalizzata,) dimostrano che un aumento eccessivo dello spessore del buffer layer (> 200nm) comporta un deciso innalzamento degli stress di contatto; (Bemporad et Al. Surface & Coatings Technology 201 (2007) 7652–7662 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 16 Deposizione dei rivestimenti Basandosi sui risultati delle simulazioni, sono state realizzate 5 classi di campioni : Codice Geometria del substrato Spessore HVOF [μm] Rugosità superficiale HVOF [μm] Spessore PVD [μm] Spessore bond layer (Ti) [nm] Spessore buffer layer [nm] e sua posizione dall’interfaccia [µm] PBRa1 Piano 400 0,013 4 50 monostrato TiN PMRa1 Piano 400 0,013 6 50 200 ; 1,5 CMRa1 Cilindrico 400 0,016 6 50 200 ; 1,5 CMRa2 Cilindrico 400 0,052 6 50 200 ; 1,5 CMRa3 Cilindrico 400 0,068 6 50 200 ; 1,5 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 17 Risultati: cross section FIB B. Casas et Al. J Mater Sci (2006) 41:5213–5219 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 18 Deposizione dei rivestimenti VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 19 Deposizione dello strato HVOF Parametri di processo Barrel length: 4 in Oxygen flowrate: 2000 scfh Kerosene flowrate: 6 gph Spraying distance: 380 mm Work temperature: 400°C Coating thickness: 500 µm VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 Torcia HVOF JP-5000 Hobart-Tafa E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 20 Deposizione dello strato PVD Deposizione dello strato Ti/TiN/Ti/TiN Impianto CAE-PVD commerciale Pressione (Pa) Temperatura di deposizione (°C) Bias (V) Corrente (A) Strati TiN 1,5 450 135 50 Ti buffer layer 0,8 450 135 50 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 21 Deposizione dello strato HVOF Spessore del rivestimento misurato tramite osservazione della sezione lucidata a l microscopio ottico; Porosità media del rivestimento misurata tramite osservazione della sezione lucidata a l microscopio ottico e successiva Analisi di Immagine; Rugosità superficiale misurata tramite profilometria a contatto Rivestimento HVOF WC-Co Spessore: 400 ± 15 µm Porosità media: 1,7% Rugosità di partenza (as sprayed): Ra = 3,12 ±0,01 µm VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 22 Procedura di lappatura HVOF SEM 20kV SE 3000X Provini piani Procedura di Lappatura su scala di laboratorio: Contact stylus Profilometer: Ra = 0.0135 ± 0.001 µm (+ Gauss filter 0.8mm) Provini cilindrici Procedura di lappatura su scala industriale: Contact stylus Profilometer : Ra1 = 0.0161 ± 0.005 µm Ra2 = 0.0517 ± 0.005 µm Ra3 = 0.0680 ± 0.006 µm (+ Gauss filter 0.8mm) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 23 Outline attività di caratterizzazione Caratterizzazione morfologica dello strato PVD Osservazione in sezione al SEM dopo frattura fragile in Azoto liquido (LN2): misura dello spessore e analisi della microstruttura Osservazione in sezione FIB: analisi della microstruttura e dei cambiamenti microstrutturali indotti dal bond-layer, studio dei meccanismi di crescita dei vari strati; Analisi della morfologia delle interfacce tramite STEM (dopo assottigliamento FIB); Analisi AFM per la misura di impronte Vickers/Knoop effettuate a bassi carichi (< 5gf). VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 24 Outline attività di caratterizzazione Caratterizzazione tribo-meccanica Rigidezza dello strato HVOF Adesione dello strato PVD (su HVOF) Modello di Marshall: valutazione del modulo elastico e della anisotropia del rivestimento tramite prova di indentazione Knoop (500gf) Valutazione qualitativa tramite Prova di indentazione Rockwell C (UNI EN 1071-08 ) Valutazione quantitativa tramite micro-Scratch test (UNI EN 1071-3) (in collaborazione con l’U.R. di Modena prof. Lusvarghi) Durezza intrinseca e modulo ridotto dello strato PVD Modelli di Chicot & Lesage, Jonsson&Hogmark su prove di microindentazione standard Vickers (ASTM E 384) Nanoindentazione, metodo di Oliver & Pharr (ISO 14577) VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 25 Osservazione SEM dopo frattura fragile in Azoto liquido (LN2): PMRa1 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 26 Risultati: cross section FIB Campione CMRa1 FIB CDEM 30kV 24,000X In-situ SE-SEM after FIB sectioning 5kV 3,700X TiN FEI Nova NanoLab 600 (Courtesy of FEI company) Microstruttura colonnare; Dimensione Grani ≤ 200nm VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 Ti TiN Ti WC-Co E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 27 Risultati: cross section FIB Monostrato TiN Microstruttura colonnare più grossolana; FIB CDEM 30kV 24,000X Dimensione grani ≤ 300nm Sample PBRa1 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 28 Risultati: analisi FIB/STEM delle interfacce in-situ STEM, after FIB thinning, 30kV 250,000x Il buffer layer di Titanio promuove la ri-nucleazione della fase TiN; Possibile spiegazione dell’aumento di adesione. VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 29 Risultati: analisi FIB/STEM delle interfacce in-situ STEM, after FIB thinning, 30kV 700.000x Differente morfologia e spessore del bond-layer Ti, nel caso in cui cresca su WC oppure Co; Ulteriori studi TEM-SAED delle interfacce e meccanismi di crescita attualmente in corso VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 Ti bond layer Co matrix WC grain E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 30 Risultati: cross section TEM dopo assottigliamento FIB Ti bond layer on WC grain Ti bond layer on Co grain VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 31 Risultati: cross section TEM dopo assottigliamento FIB Ti buffer layer VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 32 Risultati: cross section TEM dopo assottigliamento FIB bond layer nanocristallino sia su Co e che WC, crescita più orientata sui grani di WC Forte doppia orientazione del buffer layer VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 33 Results Duplex TiN monostrato su WC-Co Piano Duplex Ti/TiN multistrato on WC-CO Piano code PBRa1 PMRa1 CMRa1 CMRa2 CMRa3 Durezza intrinseca modello C&L* [GPa] 32,9 26 - - - Durezza intrinseca Modello J&H* [GPa] 33,5 26,9 - - - Carico critico Lc3 Scratch test [N] 18,2 >30 >30 >30 23,0 HRC adhesion test Class # 1 1 1 1 2 Campioni cilindrici a diverse rugosità *Valore di riferimento ottenuto per una profondità di indentazione pari a 1/10 dello spessore del film h=t/10 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 34 Risultati – durezza intriseca rivestimento PVD Jonsson-Hogmark PMRa1 30 26,9 Gpa 28 Substrate HVOF Hardness (GPa) Composite 26 Calcolo della durezza intrinseca: PVD coating 24 22 Meyer ISE: HV0 = 28,27 n = 1,958 20 18 Modello di Jonsson-Hogmark; Indentation Size Effect: Modello di Meyer 16 HV HV0 d nHV 14 12 10 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 Jonsson-Hogmark PBRa1 Relative Indentation Depth (h/t) 40 33,5 Gpa Substrate HVOF Composite La durezza intrinseca diminuisce per l’interposizione del buffer layer Ti Hardness (GPa) 35 PVD coating 30 Meyer ISE: HV0 = 36,38 n = 1,920 25 20 15 10 0,0 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 Relative Indentation Depth (h/t) E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 35 Risultati – durezza intriseca rivestimento PVD Chcot-Lesage PMRa1 30 26 Gpa 28 PVD Coating Composite Hardness (GPa) HVOF Substrate 26 Calcolo della durezza intrinseca: 24 22 20 18 Meyer ISE: HV0 = 27,77 n = 1,951 16 14 10 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 Indentation Size Effect: Modello di Meyer HV HV0 d nHV 12 0,0 Modello di Chicot-Lesage; 0,6 Chicot-Lesage PBRa1 Relative Indentation Depth (h/t) 40 32,9 Gpa La durezza intrinseca diminuisce per l’interposizione del buffer layer Ti Hardness (GPa) 35 Composite HVOF Substrate 30 Meyer ISE: HV0 = 35,66 n = 1,919 25 20 15 10 0,0 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 PVD Coating 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 Relative Indentation Depth (h/t) E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 36 Load On Sample (mN) Risultati: nanoindentazione – analisi statistica 50 45 40 35 30 25 20 15 10 5 0 a) b) (a) (b) 0 500 1000 1500 (c) c) Indentazione standard: OK Indentazione su difetto sub-superficiale: da scartare Indentazione su difetto superficiale: da scartare 2000 Displacement Into Surface (nm) TEM BF 8800x VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 37 Risultati – Adesione HRC (UNI EN 1071-8) Campione PMRa1 Classe #1 Campione PBRa1 Classe #1 Lo strato buffer Ti aumenta la deformabilità del rivestimento PVD; Influenza del substrato Ti6Al4V B. Casas et Al. Indentatore Rockwell-C 1470 N VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 J Mater Sci (2006) 41:5213–5219 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 38 Risultati – Adesione micro-Scratch test - Rockwell-C indenter (200µm) - PLST configuration - Loading rate: 10 N/min Campione PMRa1 LC3 = 18,2 N 18.2N - Table speed: 10 mm/min - UNI EN 1071-3 Campione PMRa1 LC3 ≥ 30 N 29N Campioni planari: aumento del 60% della adesione a seguito della interposizione dello strato Ti VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 39 Micro-Scratch test su cilindrici Nessuna riduzione del carico critico per rugosità dello strato HVOF Ra < 0,5 μm; Possibilità di ottimizzazione del rapporto costi/prestazioni Campione CMRa1 LC3 ≥ 30 N 28,5N VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 Campione CMRa2 LC3 ≥ 30 N 28 N campione CMRa3 LC3 = 23 N 23 N E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 40 Normal to surface stress component VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 41 Conclusioni (1/2) Progettazione ed ottimizzazione di un sistema duplex (HVOF + PVD) su substrato Ti6Al4V: Ti/TiN multilayer (quattro strati, 6 µm) su 400μm HVOF WC-17%Co L’introduzione del buffer layer in titanio (200nm) ha garantito un aumento significativo di tenacità e adesione, con una piccola riduzione in durezza superficiale; VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 42 Conclusioni (2/2) La durezza composita del componente e la sua load bearing capacity rimangono inalterate; Lo studio dell’influenza della rugosità dello strato HVOF sulla adesione del rivestimento PVD ha permesso di valutare il valore critico (Ra = 0,05µm) che rappresenta il punto di ottimo del rapporto costi/prestazioni del componente reale (cilindrico). VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical characterisation of PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 43 Grazie per la vostra attenzione [email protected] www.stm.uniroma3.it www.lime.uniroma3.it Spherical indenter on substrate with 3 layers Principal stress S1 (GPa) Stress (GPa) 0,00 -1,00 -2,00 -3,00 -4,00 VI convegno INSTM Perugia 12-15 Giungo 2007 -5,0characterisation of E. Bemporad et Al.: Nano-microstructural and nano-mechanical 0,0 2,0 X (µm) 5,0 PVD multilayer coatings on HVOF WC-Co substrate 0,0 8,0 6,0 4,0 Z (µm) 44