Effetto Hall 1 / 49 Lezione 4 Trasduttori ad effetto Hall e magnetoresistori Effetto Hall 2 / 49 Trasduttori ad effetto Hall • L’effetto Hall • Trasduttori (di induzione magnetica) ad effetto Hall – Funzionamento – Sensibilità – Cause di incertezza • Magnetoresistori – Funzionamento – Sensibilità – Cause di incertezza Effetto Hall 3 / 49 L’effetto Hall Effetto Hall 4 / 49 Effetto Hall FH q v B Effetto Hall 5 / 49 FHall e FCoulòmb FH q v B ; Fc E q FH q v B ; Fc E q Effetto Hall 6 / 49 Equilibrio delle forze FH q v B E B v Fc E q Effetto Hall 7 / 49 Campo elettrico E e tensione di Hall VH VH E d VH E d E V B H v vd Effetto Hall 8 / 49 Velocità dei portatori di carica Q i t ; l v t Effetto Hall 9 / 49 Velocità dei portatori di carica Q q n s d l Q q n s d v t i t t l v t ; i v qnsd Effetto Hall 10 / 49 Tensione di Hall ed induzione B E VH B v v d VH VH B i i v d d v qnsd q n s d Effetto Hall 11 / 49 Tensione di Hall ed induzione B VH VH Bi B q n s VH i i qns d qnsd Effetto Hall 12 / 49 Disposizione elettrodi Effetto Hall 13 / 49 Sensibilità • Si è visto che la tensione prodotta è data da: Bi VH qns • Per ottenere elevate sensibilità bisogna agire sul rapporto i/qns: – s : si realizzano spessori molto piccoli (fino a pochi nm) mediante tecniche avanzate quali lo “sputtering” – q n : si ricorre a semiconduttori a basso drogaggio con portatori dominanti di tipo n – i : si forzano correnti relativamente elevate applicando elevate tensioni alla basetta Effetto Hall 14 / 49 Sensibilità e cause di incertezza • Sensibilità: elevata sensibilità bassa densità pdc – materiale semiconduttore monocristallino e poco drogato • Cause di incertezza: – la temperatura modifica la densità pdc – spessore del semiconduttore – allineamento elettrodi Effetto Hall 15 / 49 Allineamento elettrodi E El Effetto Hall 16 / 49 Media per tre coppie di elettrodi Effetto Hall 17 / 49 14 - 20 euro Effetto Hall 18 / 49 L’angolo di Hall ed i magnetoresistori Effetto Hall 19 / 49 Mobilità dei portatori di carica E v v v E • Da un punto di vista macroscopico consideriamo che i portatori di carica, sotto l’effetto del campo elettrico applicato dall’esterno, si muovono di moto rettilineo uniforme e definiamo “mobilità dei portatori di carica” (m) il rapporto fra la velocità dei portatori e la intensità del campo elettrico che tiene in movimento le cariche stesse: v μ E Effetto Hall 20 / 49 Angolo di Hall B E E • La traiettoria “microscopica” delle cariche in movimento è curvilinea con un raggio di curvatura che risulta diminuire mano a mano che la velocità aumenta. • Quando il portatore di carica collide con un atomo si ferma, quindi riprende il suo movimento secondo la direzione del campo elettrico principale. • Appena è in movimento ricomincia a risentire dell’azione della forza di Hall che inizia a deviare sempre più la sua traiettoria. Effetto Hall 21 / 49 Angolo di Hall • La traiettoria “macroscopica” delle cariche in movimento è deviata di un angolo qH rispetto alla direzione del campo elettrico principale. FH tgH FC Effetto Hall 22 / 49 Angolo di Hall • In realtà la forza di Hall media è normale alla traiettoria “macroscopica” tgH FH FC sin H FH FC Effetto Hall 23 / 49 Sensibilità FH tgH FC FC E q vm E FH B v q B m E q FH B mE q tgH Bm FC Eq Effetto Hall 24 / 49 Magnetoresistori l0 R0 s d0 0 tgH B m 1 l l0 cos H Effetto Hall 25 / 49 Magnetoresistori l0 R0 s d0 tgH B m 1 l l0 cos H sen H l0 cos H d0 cos H d d0 l0 sen H cos H d0 Effetto Hall 26 / 49 Magnetoresistori 1 l l0 cos H sen H l0 cos H d0 cos H d d0 l0 sen H cos H d0 Effetto Hall 27 / 49 Magnetoresistori L’accumulo di cariche alla faccia inferiore crea un effetto che contrasta la libera circolazione delle altre cariche in modo analogo a quanto visto con i sensori ad effetto Hall. Effetto Hall 28 / 49 Magnetoresistori Per contrastare l’effetto di accumulo si potrebbe limitare l0 ma: le resistenze sarebbero di piccolo valore, quindi: - piccole variazioni assolute, - problemi di misurazione non trascurabili. Effetto Hall 29 / 49 Disco di Corbino Orso Mario Corbino (1876 - 1937) Effetto Hall 30 / 49 Orso Mario Corbino (1876 - 1937) Presidente del Consiglio Superiore delle acque e dei Lavori Pubblici nel 1917, Senatore del Regno dal 1920, fu ministro della Pubblica Istruzione nel 1921-1922 (nel governo Bonomi I) e ministro dell'Economia Nazionale nel 1923-1924 (chiamato a tale incarico da Mussolini, pur non essendo iscritto al partito fascista). Dopo la morte di Blaserma inoltre ottenne la cattedra dell'Istituto di fisica sperimentale e dell'Istituto di Via Panisperna dal 1918 al 1937. Effetto Hall 31 / 49 Disco di Corbino Effetto Hall 32 / 49 Magnetoresistori La geometria più adatta alla realizzazione di un trasduttore è quella del parallelepipedo già studiato, ma come contrastare l’accumulo di cariche alla faccia inferiore? Effetto Hall 33 / 49 Composito in antimoniuri di indio e nickel Antimoniuro di indio ( In Sb ) semiconduttore ad elevatissima mobilità Antimoniuro di nickel ( Ni Sb ) conduttore Effetto Hall 34 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 35 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 36 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 37 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 38 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 39 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 40 / 49 Applicazioni dei magnetoresistori Effetto Hall 41 / 49 Effetto Hall 42 / 49 Effetto Hall 43 / 49 Effetto Hall 44 / 49 Effetto Hall 45 / 49 Effetto Hall 46 / 49 Effetto Hall 47 / 49 Effetto Hall 48 / 49 biblioteca mks@ • Trasduttori ad effetto Hall: – Hall Effect Sensing and Application 126 pagine © Honeywell Effetto Hall 49 / 49 biblioteca mks@ • Magnetoresistori: Electric Power Steering (EPS) with GMR-Based Angular and Linear Hall Sensor 16 pagine © Infineon Pedal Position Sensing Using Hall Effect Sensors 20 pagine © Infineon Throttle Position Sensing with Linear Hall Sensors 20 pagine © Infineon Effetto Hall 50 / 49 La prossima lezione: • Piezoelettricità ed effetto piezoelettrico diretto ed inverso • Trasduttori piezoelettrici • Materiali piezoelettrici naturali e sintetici: quarzi, PZT • Banda passante e circuiti per il condizionamento del segnale d’uscita