Elettroni nei semiconduttori Risolvendo l'eq di Schrodinger per un cristallo semiconduttore si ottiene una relazione di dispersione E-k. Struttura a bande Interessa soprattutto top della banda di valenza e fondo della banda di conduzione. Il top della banda di valenza occorre a k=0 Il fondo della banda di conduzione occorre a k=0 per alcuni semiconduttori (GaAs, InP, etc.) Per altri occorre a k≠0 (Si, Ge, AlAs, etc.) LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 1 Struttura a bande Gap Diretta intorno al minimo Gap Indiretta intorno al minimo 2k 2 E k = Ec + 2m * Gap diretta → forte accoppiamento con la luce Gap indiretta → debole accoppiamento con la luce Conservazione del momento favorisce transizioni verticali Massa efficace Nel Si si hanno sei minimi equivalenti lungo l'asse x, y, z in corrispondenza del valore 2π 0.85,0,0 a 2 2 2 k + k k x k0x y z E k = Ec + + 2 ml mt 2 m*l massa longitudinale 0.98 m0 m*t massa trasversale 0.19 m0 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 2 Struttura a bande Masse effettive più «pesanti» corrispondono a bande più «larghe». 1 2 1 E = E viceversa 2 k 2 m* (k\ ) Minore il gap tra bande minori le masse efficaci Vicino al top della banda di valenza ci sono due curve. Buche pesanti Buche leggere 2k 2 E = Ev 2m hh 2k 2 E = Ev 2m lh In tutte le espressioni ricavate fin qui occorrerà usare la massa efficace al posto della massa reale dell'elettrone m0 Gap diretta → m* unica Gap indiretta → m*DOS combinazione delle diverse masse effettive LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 3 Massa efficace in banda di conduzione 2 E k = Ec + 2 k x k0x 2 k y2 + k z2 + ml mt Eq di un ellissoide di rotazione intorno a k0 Assi a, b, b 4 8π 1 3 / 2 3/ 2 2 2 Vk = 2 πab = 2 E E m m c l t 0 3 3 3 3/ 2 2 dVk 2 m m 1/ 2 l t 0 = E E dE = N E dE c 3 2 3 8π 2π Numero di stati tra k0 e k0+dk a= b= 2m l E Ec 2m t E Ec I 6 minimi equivalenti (±x, ±y, ±z) 3/ 2 2 t mDOS = 6 ml m Massa efficace in banda di valenza 2k 2 E k = Ev 2m La banda di valenza è doppia Buche pesanti Buche leggere N E dE = 32 2mDOS 1/ 2 E E dE v 2 3 π 2 3/2 3/2 m3/ = m +m ( dos lh hh ) LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 4 Buche nei semiconduttori La banda di valenza è completamente piena. La banda di conduzione è vuota T=0K ki = ki + ke = 0 ki ke La banda di valenza cede qualche elettrone. T>0K Restano dei vuoti. La banda di conduzione acquista qualche elettrone k h = ke = k ki ke i La massa della buca è positiva (quella dell'elettrone mancante in banda di valenza sarebbe negativa) dk h = eF + vh xB Lo stato vuoto è chiamato buca, ed è considerato una particella con carica e momento -ke dt 2 E 1 2 m = k 2 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 5 EX 2.3 m0=0,91x10-30 kg ħ=1,05x10-34Js Calcoliamo l’energia di un elettrone e di una buca nella banda delle lacune pesanti di un semiconduttore a k=0,1 Å-1 La massa della lacuna pesante è pari a m0/2 L’energia di un elettrone in banda di valenza è Per cui 2k 2 E = Ev 2m hh Ee = Ev 1,2110 20 J = Ev 0,0755 eV Eh = Ev 0,0755 eV LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 6 Silicio Relativamente facile da produrre Si lavora agevolmente Possiede un ossido naturale di alta qualità che può fungere da isolante Bandgap indiretta di 1.11 eV (300K) Minimo della banda di conduzione è nella direzione k= 2/a (0.85,0,0) ] Parametro reticolare a=5.43 Å Scarse proprietà ottiche (no laser) LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 7 Arseniuro di Gallio Struttura a bande molto buona. Non possiede un ossido che può fungere da isolante Bandgap diretta di 1.43 eV (300K) Il fondo della banda di conduzione è isotropo → Superfici isoenergetiche sferiche Parametro reticolare a=5.65 Å Ottime proprietà ottiche e di trasporto in banda di conduzione m*=0.067 m0 m*hh=0.45m0 m*lh=0.1m0 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 8 Leghe di semiconduttori Si possono unire alcuni semiconduttori a formare delle leghe. (Parametri reticolari vicini) AlxGa1-xAs Bandgap da 1.43eV a 2.16 eV (x=0 → 0.45) A x B 1− x a lb =xa A+ (1− x )a B Legge di Vegard A x B1− x E lb (k )=xE A (k )+ (1− x )E B (k ) Lega binaria Ex 2.4 e Ex 2.5 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 9 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 10 Portatori intrinseci Metalli → elettroni in banda di conduzione parzialmente piena. Densità molto alta ~1023 cm-3 Conduzione Semiconduttori → Banda di valenza piena Banda di conduzione vuota No corrente Ma se si creano degli elettroni in banda di conduzione e delle buche in banda di valenza. (Energia termica) Corrente di carica n densità di elettroni in banda di conduzione p densità di buche in banda di valenza Dipende dall'ampiezza della gap e dalla temperatura LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 11 Portatori intrinseci p = N h E 1 f e E dE n= ∫ N e (E ) f e (E )dE n densità di elettroni in banda di conduzione p densità di buche in banda di valenza f h = 1 N E f E dE h h 1 e 1 e 1 2m e E Ec dE 2π 2 2 E EF k BT e 1 1/ 2 n= n = Nce Massa efficace della densità degli stati EF ≫kBT Approssimazione di Boltzmann p = Nve Ev E F k BT m k T N v = 2 h B2 2π E=0,1 eV → fatt exp 0,01 1 E EF k BT 1 E EF k BT E F Ec k BT m k T N c = 2 e B2 2π 3/ 2 Densità efficace degli stati al fondo della banda di conduzione 3/ 2 Densità efficace degli stati in cima alla banda di valenza n=p Ogni elettrone in conduzione ha lasciato una buca in valenza LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 12 Portatori intrinseci 3 Eg k T k T 3/ 2 np = 4 B 2 me mh e B 2π Legge dell'azione di massa Non dipendente dalla posizione di EF Ma solo da T e proprietà intrinseche k T ni = pi = 2 B 2 2π 3/ 2 me mh 3 / 4 e Eg 2k BT Nc(cm-3) Nv(cm-3) ni=pi (cm-3) Si (300K) 2.78x1019 9.84x1018 1.5x1010 Ge (300K) 1.04x1019 6.0x1018 2.33x1013 GaAs (300K) 4.45x1017 7.72x1018 1.84x106 ni = pi 2 e E Fi k BT = mh / me 3/ 2 e E c + Ev k BT EFi = Ec + Ev 3 + k BTln mh / me 2 4 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 13 Densità dei portatori La concentrazione dei portatori intrinseci diminuisce esponenzialmente con la gap di banda. Dipende fortemente dalla temperatura. La concentrazione degli intrinseci è determinata da T: non può essere controllata esternamente Se la concentrazione di portatori intrinseci supera un valore di 1015 cm-3 il materiale non è più adatto per dispositivi (troppo intrinsecamente conduttivo) Interesse per semiconduttori ad alta gap (dispositivi ad alta temperatura) Diamante, SiC, ... Ma in presenza di impurezze la situazione è molto diversa ... LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 14 Drogaggio:Donori e Accettori Per alterare la densità degli elettroni e delle buche nei semiconduttori e quindi ottenere valori di conducibilità maggiori, si inseriscono delle impurezze. DONORI: Aggiungono elettroni in banda di conduzione Atomi pentavalenti come P,As, Sb → Si o Ge. Atomi tetravalenti come Si, Ge come sostituenti del Ga o esavalenti come S come sostituti di As → GaAs ACCETTORI: Aggiungono buche in banda di valenza Atomi trivalenti come B, Al, Ga → Si o Ge. Atomi tetravalenti come Si, C come sostituenti del As o bivalenti come Be,Mg come sostituti di Ga → GaAs LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 15 Livelli di Donori e di Accettori Per i donori abbiamo un elettrone in più che vede una carica positiva schermata dalla costante dielettrica del materiale. Problema dell'atomo idrogenoide con massa efficace e potenziale schermato (e0 e) e2 U r = 4πe r e 4 me* E d = Ec 2 24π 2 m e 0 = Ec R y eV m0 e * 2 La massa per i donori è la massa efficace di conduzione Per gli accettori abbiamo un elettrone+carica nucleare 1in meno. 1 2E' come 1 se ci fosse un anti-atomo con = * + * * nucleo positiva (buca) in più. La mσ 3 negativo+carica mt ml buca vede una carica negativa schermata dalla costante dielettrica del materiale. Problema Per gli accettori è generalmente usata mhh* dell'atomo idrogenoide invertito con massa efficace (mh*) e potenziale schermato (e0 → e) . Il livello di ionizzazione è EV e l'energia di legame è positiva ~1÷0.1 ~ 0,1 m* e 0 Ea = Ev + Ry meV m0 e 2 Ec-Ed~10 meV Ev-Ea ~10÷100 meV Ex 2.12 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 16 Calcoliamo le energie di livelli accettori e donori in GaAs e Si Per il GaAs la massa effettiva è 0,067 m0 e e=13,2 e0 m* e 0 Ed GaAs = Ec Ry eV m0 e = Ec 5,2 meV 2 Per il Si dobbiamo capire quale massa efficace dobbiamo usare nella espressione del livello donore La scelta giusta è di prendere la media degli inversi delle masse efficaci ovvero la massa efficace per la conduzione ms* 1 1 1 2 3 m* m* ms* t l La massa effettiva è 0,26 m0 e e=11,09 e0 m* e 0 Ed Si = Ec Ry eV m0 e = Ec 25 meV 2 Per i livelli accettori la questione è complicata dalla presenza delle due distinte bande di valenza. Una scelta ragionevole è di effettuare il calcolo considerando la massa effetiva di buca pesante. (0,45 per GaAs e 0,5 per Si) Ea Si = Ev 48 meV Ea GaAs= Ev 36 meV LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 17 Portatori in semiconduttori drogati Nello stato di energia più bassa dell'atomo donore, l'elettrone extra è legato. Non può condurre. L'energia di ionizzazione è però bassa e confrontabile con l'energia termica. n-p≠0 Ma la legge di azione di massa è ancora valida np=ni2 Infatti l'espressione per la densità di elettroni in banda di conduzione rimane sostanzialmente valida ma EF cambierà con il drogaggio. Possiamo scrivere EF ≠ EFi n = Nce n E E / k T = e F Fi B ni E Fi Ec E F E Fi k BT k BT Nce e dove 3/ 2 me k BT N c = 2 2 2π W. B. Joyce and R. W. Dixon,Appl. Phys.Lett., 31, pp. 354, (1977) E F Ec k BT p E E / k T = e F Fi B ni Il livello di Fermi si sposta verso la banda di conduzione (tipo n). L'approssimazione di Boltzmann-Maxwell per la probabilità di occupazione comincia a perdere validità. In seguito assumeremo che tutti i donori o accettori sono ionizzati Soluzione numerica Joyce-Dixon Boltzmann T=0 Ovvero metalli http://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter2/ch2 _6.htm LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 18 Popolazione dei livelli di impurezza A bassa temperatura tutti gli elettroni sono confinati. Freezeout Al crescere della temperatura la frazione di donori eccitati cresce fino alla completa ionizzazione e la densità di portatori diviene uguale alla densità di donori. Regione di saturazione A un certo punto inizieranno a crescere i portatori provenienti dalla banda di valenza Frazione di donori non ionizzati nd 1 = (E − E ) n+ n d Nc − k T e +1 2 Nd LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis c d B 19 Semiconduttori drogati pesantemente Al crescere della concentrazione di dopanti la situazione può complicarsi. Bande di impurezze Perturbazione della forma delle bande Restringimento della separazione di banda Un'espressione ragionevole per tale restringimento è: N d 300 Δ E g = − 22.5 10 18 T ( K ) ( 1 /2 ) meV LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 20