CNR – IMM Bologna
MINISTERO DELL'ISTRUZIONE, DELL'UNIVERSITA' E
DELLA RICERCA
BANDO FIRB - PROGRAMMA "FUTURO IN RICERCA"
Anno 2008 - Protocollo: RBFR08279R
Fabbricazione di nanopunte di ossidi di metallo
mediante "Inductively Coupled Plasma etching" per
sensori di gas a principio di rivelazione duale
Coordinatore scientifico della ricerca
Dr.ssa Marzia Traversa CNR – IMM Lecce
R. Angelucci
Bologna, 16 Aprile 2009
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CNR – IMM Bologna
Scopo del progetto
Lo scopo di questo progetto è di studiare la fattibilità dell'impiego
di tecnologie di attacco chimico mediante plasmi ad alta densità
per la realizzazione di matrici di nano punte di ossidi metallici
(ZnO,TiO2, SnO2)
da utilizzare come parte attiva di un nuovo tipo di sensore di gas.
La matrice di nano punte (decine di nm di diametro) è progettata per
essere il cuore di un sensore di gas duale che combina due diversi
principi di rivelazione di gas in una camera MEMS miniaturizzata:
a) Un elemento di rivelazione di tipo fisico che si basa
sulla ionizzazione del gas
b) Un elemento di rivelazione di tipo chimico che si basa
sull'adsorbimento del gas
R. Angelucci
Bologna, 16 Aprile 2009
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CNR – IMM Bologna
Flow-chart del nuovo sensore duale di gas miniaturizzato
Schema dettagliato della camera MEMS miniaturizzata
R. Angelucci
Bologna, 16 Aprile 2009
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CNR – IMM Bologna
Attività di ricerca
Le attività di ricerca verranno svolte presso i laboratori del CNR-IMM di
Lecce e di Bologna e saranno organizzate secondo le seguenti fasi:
1. Fabbricazione del dispositivo
2. Caratterizzazione preliminare della ionizzazione indotta da campo
elettrico di matrici di nanopunte di MOX (IMM Bologna)
3. Caratterizzazione elettrica funzionale del sensore di gas in ambiente
R. Angelucci
Bologna, 16 Aprile 2009
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CNR – IMM Bologna
Costi e finanziamenti
A carico
MIUR
Costo dell’attività di
ricerca
551.153
Costo dei contratti
(giovani ricercatori)
139.500
Costo complessivo
del progetto di
ricerca
690.653
A carico del
proponente
236.209
Totale
787.362
139.500
236.209
926.862
Dal MIUR all’IMM Bologna 235.000 € e un assegno di ricerca
triennale di 67.980 €
Con 97.000 € di cofinanziamento - con impegno di 12 mesi uomo di
R. Angelucci
R. Angelucci
Bologna, 16 Aprile 2009
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